Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов

Manylion Llyfryddiaeth
Prif Awdur:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Awduron Eraill:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Iaith:	Rwseg
Cyhoeddwyd:	Москва, Энергоатомиздат, 1987
Pynciau:	травление плазменное низкотемпературная плазма плазма ионные процессы ионно-химические процессы плазмохимические процессы очистка материалов
Fformat:	Llyfr
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=76401

Eitemau Tebyg

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
gan: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Радио и связь, 1983)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
gan: Владимирова Л. Н.
Cyhoeddwyd: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Т. VIII-1. Химия низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (2005)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
gan: Данилин Б. С. Борис Степанович
Cyhoeddwyd: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
gan: Ходыревская Ю. И.
Cyhoeddwyd: (2012)

Электродуговые и высокочастотные плазмотроны в химико-металлургических процессах: учебное пособие для студентов вузов специализирующихся в области физики низкотемпературной плазмы, специальных металлургических и плазмохимических процессов
gan: Дзюба В. Л. Вячеслав Леонидович
Cyhoeddwyd: (Киев, Вища школа, 1991)

Очерки физики и химии низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1971)

Цепные процессы в низкотемпературной плазме
gan: Пушкарев А. И. Александр Иванович
Cyhoeddwyd: (Новосибирск, Наука, 2006)

Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков
gan: Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1973)

Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
gan: Владимирова Л. Н.
Cyhoeddwyd: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Синтез в низкотемпературной плазме
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1980)

Ч. 2; Физика низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (1991)

Вопросы физики низкотемпературной плазмы: сборник статей
Cyhoeddwyd: (Минск, Наука и техника, 1970)

Выбор окислителя для спиновой сепарации изотопов в плазмохимических процессах; Изотопы: технологии, материалы и применение
gan: Ушаков И. А. Иван Алексеевич
Cyhoeddwyd: (2014)

Основы физики процессов в устройствах с низкотемпературной плазмой
gan: Недоспасов А. В. Артур Владимирович
Cyhoeddwyd: (Москва, Энергоатомиздат, 1991)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
gan: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Cyhoeddwyd: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Т. XI -5: Прикладная химия плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (2006)

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
gan: Ефремов А. М. Александр Михайлович
Cyhoeddwyd: (Москва, Физматлит, 2013)

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
gan: Ефремов А. М. Александр Михайлович
Cyhoeddwyd: (Москва, Физматлит, 2012)

Ч. 3; Физика низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (1991)

Физика, техника и применение низкотемпературной плазмы: труды IV Всесоюзной конференции по физике и генераторам низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (Алма-Ата, 1970)

Т. V-1: Диагностика низкотемпературной плазмы. Ч. 1; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (Москва, Янус-К, 2006)

Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы
gan: Биберман Л. М. Леон Михайлович
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1982)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
gan: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Высшая школа, 1987)

Т. III-3 : Транспортные свойства низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (2009)

Генераторы низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1969)

Плазмохимические реакции и процессы
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1977)

Многоволновая диагностика нанодисперсных частиц, образующихся при плазмохимических процессах, протекающих в магнитном поле; Изотопы: технологии, материалы и применение
Cyhoeddwyd: (2017)

Применение низкотемпературной плазмы в химии
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1981)

Т. III-1. Термодинамические свойства низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (2004)

Т. IV : Р - Т; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (2011)

Диагностика низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1979)

Плазменные технологии переработки веществ. Ч. 1: учебное пособие
gan: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Cyhoeddwyd: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Мощные генераторы плазмы
gan: Глебов И. А. Игорь Алексеевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

Элементарные процессы и кинетика низкотемпературной плазмы: учебное пособие
gan: Девятов А. М. Альфат Минниханович
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во МГУ, 1992)

Свойства низкотемпературной плазмы и методы ее диагностики: сборник статей
Cyhoeddwyd: (Новосибирск, Наука, 1977)

Аэродинамические исследования при участии потоков синтезированной низкотемпературной плазмы
gan: Скворцов В. В.
Cyhoeddwyd: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013)

Аэродинамические исследования при участии потоков синтезированной низкотемпературной плазмы
gan: Скворцов В. В.
Cyhoeddwyd: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013)

Ч. 1; Плазменные технологии переработки веществ
gan: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Cyhoeddwyd: (2008)

Физика и техника низкотемпературной плазмы
Cyhoeddwyd: (Москва, Атомиздат, 1972)