Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Beste egile batzuk:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Hizkuntza:	errusiera
Argitaratua:	Москва, Энергоатомиздат, 1987
Gaiak:	травление плазменное низкотемпературная плазма плазма ионные процессы ионно-химические процессы плазмохимические процессы очистка материалов
Formatua:	Liburua
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=76401

Antzeko izenburuak

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
nork: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Argitaratua: (Москва, Радио и связь, 1983)

Т. VIII-1. Химия низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (2005)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
nork: Данилин Б. С. Борис Степанович
Argitaratua: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
nork: Ходыревская Ю. И.
Argitaratua: (2012)

Электродуговые и высокочастотные плазмотроны в химико-металлургических процессах: учебное пособие для студентов вузов специализирующихся в области физики низкотемпературной плазмы, специальных металлургических и плазмохимических процессов
nork: Дзюба В. Л. Вячеслав Леонидович
Argitaratua: (Киев, Вища школа, 1991)

Очерки физики и химии низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (Москва, Наука, 1971)

Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков
nork: Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
Argitaratua: (Москва, Наука, 1973)

Ч. 2; Физика низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (1991)

Вопросы физики низкотемпературной плазмы: сборник статей
Argitaratua: (Минск, Наука и техника, 1970)

Цепные процессы в низкотемпературной плазме
nork: Пушкарев А. И. Александр Иванович
Argitaratua: (Новосибирск, Наука, 2006)

Основы физики процессов в устройствах с низкотемпературной плазмой
nork: Недоспасов А. В. Артур Владимирович
Argitaratua: (Москва, Энергоатомиздат, 1991)

Синтез в низкотемпературной плазме
Argitaratua: (Москва, Наука, 1980)

Выбор окислителя для спиновой сепарации изотопов в плазмохимических процессах; Изотопы: технологии, материалы и применение
nork: Ушаков И. А. Иван Алексеевич
Argitaratua: (2014)

Ч. 3; Физика низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (1991)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
nork: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Argitaratua: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Физика, техника и применение низкотемпературной плазмы: труды IV Всесоюзной конференции по физике и генераторам низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (Алма-Ата, 1970)

Т. V-1: Диагностика низкотемпературной плазмы. Ч. 1; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (Москва, Янус-К, 2006)

Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы
nork: Биберман Л. М. Леон Михайлович
Argitaratua: (Москва, Наука, 1982)

Т. XI -5: Прикладная химия плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (2006)

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
nork: Ефремов А. М. Александр Михайлович
Argitaratua: (Москва, Физматлит, 2013)

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
nork: Ефремов А. М. Александр Михайлович
Argitaratua: (Москва, Физматлит, 2012)

Плазмохимические реакции и процессы
Argitaratua: (Москва, Наука, 1977)

Генераторы низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (Москва, Наука, 1969)

Т. III-3 : Транспортные свойства низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (2009)

Применение низкотемпературной плазмы в химии
Argitaratua: (Москва, Наука, 1981)

Диагностика низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (Москва, Наука, 1979)

Т. III-1. Термодинамические свойства низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (2004)

Свойства низкотемпературной плазмы и методы ее диагностики: сборник статей
Argitaratua: (Новосибирск, Наука, 1977)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
nork: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Argitaratua: (Москва, Высшая школа, 1987)

Элементарные процессы и кинетика низкотемпературной плазмы: учебное пособие
nork: Девятов А. М. Альфат Минниханович
Argitaratua: (Москва, Изд-во МГУ, 1992)

Зондовые методы исследования низкотемпературной плазмы
nork: Демидов В. И. Владимир Иванович
Argitaratua: (Москва, Энергоатомиздат, 1996)

Колебания и неустойчивости низкотемпературной плазмы
nork: Недоспасов А. В. Артур Владимирович
Argitaratua: (Москва, Наука, 1979)

Т. IV : Р - Т; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (2011)

Мощные генераторы плазмы
nork: Глебов И. А. Игорь Алексеевич
Argitaratua: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

Физика и техника низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (Москва, Атомиздат, 1972)

Оптические методы диагностики параметров низкотемпературной газоразрядной плазмы: специальный физический практикум
nork: Коротков А. И. Александр Иванович
Argitaratua: (Чебоксары, 1984)

Многоволновая диагностика нанодисперсных частиц, образующихся при плазмохимических процессах, протекающих в магнитном поле; Изотопы: технологии, материалы и применение
Argitaratua: (2017)

Ч. 1; Физика низкотемпературной плазмы
Argitaratua: (1991)

Элементарные процессы в низкотемпературной плазме: учебное пособие
nork: Семиохин И. А. Иван Александрович
Argitaratua: (Москва, Изд-во МГУ, 1988)

Физика и техника низкотемпературной плазмы: сборник научных трудов
Argitaratua: (Минск, Ин-т тепло и массобмена, 1977)