Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Autres auteurs:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Langue:	russe
Publié:	Москва, Энергоатомиздат, 1987
Sujets:	травление плазменное низкотемпературная плазма плазма ионные процессы ионно-химические процессы плазмохимические процессы очистка материалов
Format:	Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=76401

Documents similaires

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
par: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Publié: (Москва, Радио и связь, 1983)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
par: Владимирова Л. Н.
Publié: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Т. VIII-1. Химия низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Publié: (2005)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
par: Данилин Б. С. Борис Степанович
Publié: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Электродуговые и высокочастотные плазмотроны в химико-металлургических процессах: учебное пособие для студентов вузов специализирующихся в области физики низкотемпературной плазмы, специальных металлургических и плазмохимических процессов
par: Дзюба В. Л. Вячеслав Леонидович
Publié: (Киев, Вища школа, 1991)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
par: Ходыревская Ю. И.
Publié: (2012)

Цепные процессы в низкотемпературной плазме
par: Пушкарев А. И. Александр Иванович
Publié: (Новосибирск, Наука, 2006)

Очерки физики и химии низкотемпературной плазмы
Publié: (Москва, Наука, 1971)

Синтез в низкотемпературной плазме
Publié: (Москва, Наука, 1980)

Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков
par: Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
Publié: (Москва, Наука, 1973)

Ч. 2; Физика низкотемпературной плазмы
Publié: (1991)

Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
par: Владимирова Л. Н.
Publié: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Вопросы физики низкотемпературной плазмы: сборник статей
Publié: (Минск, Наука и техника, 1970)

Выбор окислителя для спиновой сепарации изотопов в плазмохимических процессах; Изотопы: технологии, материалы и применение
par: Ушаков И. А. Иван Алексеевич
Publié: (2014)

Т. XI -5: Прикладная химия плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Publié: (2006)

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
par: Ефремов А. М. Александр Михайлович
Publié: (Москва, Физматлит, 2013)

Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
par: Ефремов А. М. Александр Михайлович
Publié: (Москва, Физматлит, 2012)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
par: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Publié: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Ч. 3; Физика низкотемпературной плазмы
Publié: (1991)

Физика, техника и применение низкотемпературной плазмы: труды IV Всесоюзной конференции по физике и генераторам низкотемпературной плазмы
Publié: (Алма-Ата, 1970)

Т. V-1: Диагностика низкотемпературной плазмы. Ч. 1; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Publié: (Москва, Янус-К, 2006)

Многоволновая диагностика нанодисперсных частиц, образующихся при плазмохимических процессах, протекающих в магнитном поле; Изотопы: технологии, материалы и применение
Publié: (2017)

Плазмохимические реакции и процессы
Publié: (Москва, Наука, 1977)

Т. III-3 : Транспортные свойства низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Publié: (2009)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
par: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Publié: (Москва, Высшая школа, 1987)

Плазменные технологии переработки веществ. Ч. 1: учебное пособие
par: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Publié: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Т. IV : Р - Т; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Publié: (2011)

Генераторы низкотемпературной плазмы
Publié: (Москва, Наука, 1969)

Ч. 1; Плазменные технологии переработки веществ
par: Каренгин А. Г. Александр Григорьевич
Publié: (2008)

Применение низкотемпературной плазмы в химии
Publié: (Москва, Наука, 1981)

Т. III-1. Термодинамические свойства низкотемпературной плазмы; Энциклопедия низкотемпературной плазмы
Publié: (2004)

Мощные генераторы плазмы
par: Глебов И. А. Игорь Алексеевич
Publié: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

Диагностика низкотемпературной плазмы
Publié: (Москва, Наука, 1979)

Прикладная плазмохимия: учебное пособие для вузов
par: Пушкарёв А. И. Александр Иванович
Publié: (Томск, Изд-во ТПУ, 2011)

Аэродинамические исследования при участии потоков синтезированной низкотемпературной плазмы
par: Скворцов В. В.
Publié: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013)

Аэродинамические исследования при участии потоков синтезированной низкотемпературной плазмы
par: Скворцов В. В.
Publié: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2013)

Свойства низкотемпературной плазмы и методы ее диагностики: сборник статей
Publié: (Новосибирск, Наука, 1977)

Физика и техника низкотемпературной плазмы
Publié: (Москва, Атомиздат, 1972)

Зондовые методы исследования низкотемпературной плазмы
par: Демидов В. И. Владимир Иванович
Publié: (Москва, Энергоатомиздат, 1996)

Колебания и неустойчивости низкотемпературной плазмы
par: Недоспасов А. В. Артур Владимирович
Publié: (Москва, Наука, 1979)