Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов

Bibliographic Details
Main Author:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Other Authors:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published:	Москва, Энергоатомиздат, 1987
Subjects:	травление плазменное низкотемпературная плазма плазма ионные процессы ионно-химические процессы плазмохимические процессы очистка материалов
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=76401

Similar Items