|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
76401 |
| 005 |
20231031091632.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\81770
|
| 090 |
|
|
|a 76401
|
| 100 |
|
|
|a 20050419d1987 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
|f Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергоатомиздат
|d 1987
|
| 215 |
|
|
|a 263 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 252-260.
|
| 516 |
1 |
|
|a Применение плазмы для травления и очистки
|
| 610 |
1 |
|
|a травление плазменное
|
| 610 |
1 |
|
|a низкотемпературная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-химические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмохимические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка материалов
|
| 675 |
|
|
|a 621.794
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 701 |
|
1 |
|a Киреев
|b В. Ю.
|g Валерий Юрьевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050419
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150903
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Физика и техника низкотемпературной плазмы, плазмохимия, плазменные технологии обработки и модификации свойств материалов
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
