Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Další autoři:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Москва, Энергоатомиздат, 1987
Témata:	травление плазменное низкотемпературная плазма плазма ионные процессы ионно-химические процессы плазмохимические процессы очистка материалов
Médium:	Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=76401

Popis
Fyzický popis:	263 с. ил.

Podobné jednotky