Данилин Б. С. Борис Степанович & Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич. (1987). Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. Москва, Энергоатомиздат, 1987.
Dyfyniad Arddull ChicagoДанилин Б. С. Борис Степанович and Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. Москва, Энергоатомиздат, 1987, 1987.
Dyfyniad MLAДанилин Б. С. Борис Степанович and Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. Москва, Энергоатомиздат, 1987, 1987.
Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.