Технология тонких пленок, учебное пособие для вузов
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Shrnutí: | Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» на кафедре «Физика твердого тела и наносистем». Пособие также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов промышленности в области получения и исследования тонких пленок и наносистем. Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Физика |
| Vydáno: |
Москва, НИЯУ МИФИ, 2008
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75918 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75918.jpg |
| Médium: | Elektronický zdroj Kniha |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 75918 | ||
| 010 | |a 978-5-7262-1036-0 | ||
| 100 | |a 20250516d2008 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Технология тонких пленок |b Электронный ресурс |f Антоненко С. В. |e учебное пособие для вузов | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c НИЯУ МИФИ |d 2008 | ||
| 215 | |a 104 с. | ||
| 300 | |a Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений | ||
| 330 | |a Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» на кафедре «Физика твердого тела и наносистем». Пособие также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов промышленности в области получения и исследования тонких пленок и наносистем. | ||
| 333 | |a Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Физика | ||
| 610 | 0 | |a тонкие пленки | |
| 610 | 0 | |a формирование пленок | |
| 610 | 0 | |a подложки | |
| 610 | 0 | |a десорбция и очистка подложек | |
| 610 | 0 | |a синтез пленок | |
| 610 | 0 | |a процессы формирование пленок | |
| 610 | 0 | |a зародышеобразование | |
| 610 | 0 | |a рост пленок | |
| 610 | 0 | |a эпитаксия | |
| 610 | 0 | |a низкоразмерные монокристаллы | |
| 610 | 0 | |a немонокристаллические структуры | |
| 610 | 0 | |a образование дефектов роста пленок | |
| 610 | 0 | |a устройства по контролю роста пленок | |
| 610 | 0 | |a свойства пленок | |
| 610 | 0 | |a изучение свойств пленок | |
| 610 | 0 | |a измерение толщины пленок | |
| 610 | 0 | |a адгезия | |
| 610 | 0 | |a механические характеристики пленок | |
| 610 | 0 | |a структурные параметры пленок | |
| 610 | 0 | |a анализ структуры пленок | |
| 610 | 0 | |a электрофизические свойства пленок | |
| 610 | 0 | |a проводников | |
| 610 | 0 | |a тонкие пленки диэлектриков | |
| 610 | 0 | |a тонкопленочные резисторы | |
| 610 | 0 | |a напыление пленок | |
| 610 | 0 | |a термический способ | |
| 610 | 0 | |a синтез пленок с помощью электронного луча | |
| 610 | 0 | |a осаждение пленок с помощью ионного распыления | |
| 610 | 0 | |a магнетронные напылительные системы | |
| 610 | 0 | |a химические способы осаждения пленок | |
| 610 | 0 | |a электрохимические методы | |
| 610 | 0 | |a электролитический способ осаждения пленок | |
| 610 | 0 | |a электрофоретические покрытия | |
| 610 | 0 | |a приготовление пленок с помощью лазера | |
| 610 | 0 | |a керамические технологии | |
| 610 | 0 | |a механические технологии | |
| 610 | 0 | |a модификация пленок | |
| 610 | 0 | |a создание изделий | |
| 610 | 0 | |a литография | |
| 610 | 0 | |a сверхпроводящие пленки | |
| 610 | 0 | |a классификация сверхпроводников | |
| 610 | 0 | |a пленки соединений со структурой а 15 | |
| 610 | 0 | |a формрование пленок втсп | |
| 610 | 0 | |a синтез втсп слоев с помощью магнетрона | |
| 610 | 0 | |a лазерное осаждение втсп | |
| 610 | 0 | |a методы модификации сверхпроводящих пленок | |
| 610 | 0 | |a обработка пленков | |
| 610 | 0 | |a сверхпроводниковые приемники | |
| 610 | 0 | |a датчики излучения | |
| 675 | |a 539.23(075) | ||
| 686 | |a 22.37я7 |2 rubbk | ||
| 700 | 1 | |a Антоненко |b С. В. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20250516 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75918 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/75918.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/75918.jpg | ||