Технология тонких пленок учебное пособие для вузов

Технология тонких пленок, учебное пособие для вузов

Bibliographic Details
Main Author:	Антоненко С. В.
Summary:	Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» на кафедре «Физика твердого тела и наносистем». Пособие также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов промышленности в области получения и исследования тонких пленок и наносистем. Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Физика
Published:	Москва, НИЯУ МИФИ, 2008
Subjects:	тонкие пленки формирование пленок подложки десорбция и очистка подложек синтез пленок процессы формирование пленок зародышеобразование рост пленок эпитаксия низкоразмерные монокристаллы немонокристаллические структуры образование дефектов роста пленок устройства по контролю роста пленок свойства пленок изучение свойств пленок измерение толщины пленок адгезия механические характеристики пленок структурные параметры пленок анализ структуры пленок электрофизические свойства пленок проводников тонкие пленки диэлектриков тонкопленочные резисторы напыление пленок термический способ синтез пленок с помощью электронного луча осаждение пленок с помощью ионного распыления магнетронные напылительные системы химические способы осаждения пленок электрохимические методы электролитический способ осаждения пленок электрофоретические покрытия приготовление пленок с помощью лазера керамические технологии механические технологии модификация пленок создание изделий литография сверхпроводящие пленки классификация сверхпроводников пленки соединений со структурой а 15 формрование пленок втсп синтез втсп слоев с помощью магнетрона лазерное осаждение втсп методы модификации сверхпроводящих пленок обработка пленков сверхпроводниковые приемники датчики излучения
Online Access:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75918 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75918.jpg
Format:	Electronic Book

Internet

http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75918
https://e.lanbook.com/img/cover/book/75918.jpg