Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций, учебное пособие для вузов
| Autor principal: | |
|---|---|
| Altres autors: | , |
| Sumari: | Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий–кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, дальнейшие перспективы развития и применения. Большое внимание уделено используемому технологическому оборудованию и физическим процессам, лежащим в основе каждого метода, а также методам жидкофазной эпитаксии и получению многокомпонентных твердых растворов соединений A III B V . Пособие составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплинам «Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций», «Технологии материалов электронной техники». Предназначено для организации самостоятельной работы студентов очной формы обучения по направлению подготовки 210100 – «Электроника и наноэлектроника», профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника», а также для аспирантов, научных сотрудников и инженеров-технологов, специализирующихся в области технологии материалов электронной техники. Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Инженерно-технические науки |
| Publicat: |
Москва, НИЯУ МИФИ, 2012
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75731 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75731.jpg |
| Format: | Electrònic Llibre |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 75731 | ||
| 010 | |a 978-5-7262-1589-1 | ||
| 100 | |a 20250516d2012 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций |b Электронный ресурс |f Ратушный В. И.,Ермолаева Н. В.,Смолин А. Ю. |e учебное пособие для вузов | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c НИЯУ МИФИ |d 2012 | ||
| 215 | |a 200 с. | ||
| 300 | |a Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений | ||
| 330 | |a В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий–кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, дальнейшие перспективы развития и применения. Большое внимание уделено используемому технологическому оборудованию и физическим процессам, лежащим в основе каждого метода, а также методам жидкофазной эпитаксии и получению многокомпонентных твердых растворов соединений A III B V . Пособие составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплинам «Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций», «Технологии материалов электронной техники». Предназначено для организации самостоятельной работы студентов очной формы обучения по направлению подготовки 210100 – «Электроника и наноэлектроника», профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника», а также для аспирантов, научных сотрудников и инженеров-технологов, специализирующихся в области технологии материалов электронной техники. | ||
| 333 | |a Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Инженерно-технические науки | ||
| 610 | 0 | |a эпитаксиальные гетероструктуры | |
| 610 | 0 | |a методы получения | |
| 610 | 0 | |a эпитаксиальная технология | |
| 610 | 0 | |a полупроводниковые материалы | |
| 610 | 0 | |a механизмы эпитаксиального роста | |
| 610 | 0 | |a тонкие пленки | |
| 610 | 0 | |a начальные стадии роста | |
| 610 | 0 | |a образование кристаллических зародышей | |
| 610 | 0 | |a газовая фаза | |
| 610 | 0 | |a химические методы | |
| 610 | 0 | |a эпитаксия из газообразной фазы | |
| 610 | 0 | |a диссоциация и восстановление | |
| 610 | 0 | |a легирование | |
| 610 | 0 | |a дефектообразование | |
| 610 | 0 | |a метод химических реакций | |
| 610 | 0 | |a газотранспортные реакции | |
| 610 | 0 | |a металлоорганические соединения | |
| 610 | 0 | |a физические методы газофазной эпитаксии | |
| 610 | 0 | |a методы испарения | |
| 610 | 0 | |a горячая стенка | |
| 610 | 0 | |a молекулярно-лучевая эпитаксия | |
| 610 | 0 | |a физические процессы | |
| 610 | 0 | |a технологическое оборудование | |
| 610 | 0 | |a перспективы развития | |
| 610 | 0 | |a применение метода | |
| 610 | 0 | |a жидкофазная эпитаксия | |
| 610 | 0 | |a многокомпонентные твердые растворы | |
| 610 | 0 | |a соединения а iii в v | |
| 610 | 0 | |a термодинамическая неустойчивость | |
| 610 | 0 | |a аппаратурно-методические особенности | |
| 610 | 0 | |a подготовка поверхности подложек | |
| 610 | 0 | |a источники загрязнений | |
| 610 | 0 | |a классификация методов очистки | |
| 610 | 0 | |a жидкостная обработка подложек | |
| 610 | 0 | |a сухая очистка | |
| 610 | 0 | |a вакуумная очистка | |
| 610 | 0 | |a новые методы синтеза | |
| 610 | 0 | |a ультратонкие слои | |
| 610 | 0 | |a химическая сборка | |
| 610 | 0 | |a поверхностные наноструктуры | |
| 675 | |a 621.382(075.8) | ||
| 686 | |a 22.3 |2 rubbk | ||
| 700 | 1 | |a Ратушный |b В. И. | |
| 701 | 1 | |a Ермолаева |b Н. В. | |
| 701 | 1 | |a Смолин |b А. Ю. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20250516 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75731 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/75731.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/75731.jpg | ||