Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций, учебное пособие для вузов
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Summary: | Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий–кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, дальнейшие перспективы развития и применения. Большое внимание уделено используемому технологическому оборудованию и физическим процессам, лежащим в основе каждого метода, а также методам жидкофазной эпитаксии и получению многокомпонентных твердых растворов соединений A III B V . Пособие составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплинам «Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций», «Технологии материалов электронной техники». Предназначено для организации самостоятельной работы студентов очной формы обучения по направлению подготовки 210100 – «Электроника и наноэлектроника», профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника», а также для аспирантов, научных сотрудников и инженеров-технологов, специализирующихся в области технологии материалов электронной техники. Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, НИЯУ МИФИ, 2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75731 https://e.lanbook.com/img/cover/book/75731.jpg |
| Format: | Electronic Book |
