Быстрые термообработки в технологии СБИС

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur:	Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004
Reeks:	Грант БрФФИ
Onderwerpen:	электроника СБИС сверхбольшие интегральные схемы кремниевые пластины нагрев световые импульсы быстрая термообработка быстродиффундирующие примеси лазерное геттерирование кремний ионно-легированные слои отжиг субмикронные пленки получение диэлектрические пленки алюминий применение биполярные СБИС элементная база параметры оборудование
Formaat:	MixedMaterials Boek
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=75255

Gelijkaardige items