Быстрые термообработки в технологии СБИС

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Sprog:	russisk
Udgivet:	Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004
Serier:	Грант БрФФИ
Fag:	электроника СБИС сверхбольшие интегральные схемы кремниевые пластины нагрев световые импульсы быстрая термообработка быстродиффундирующие примеси лазерное геттерирование кремний ионно-легированные слои отжиг субмикронные пленки получение диэлектрические пленки алюминий применение биполярные СБИС элементная база параметры оборудование
Format:	Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=75255

Lignende værker