Быстрые термообработки в технологии СБИС

Bibliographic Details
Main Author:	Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Language:	Russian
Published:	Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004
Series:	Грант БрФФИ
Subjects:	электроника СБИС сверхбольшие интегральные схемы кремниевые пластины нагрев световые импульсы быстрая термообработка быстродиффундирующие примеси лазерное геттерирование кремний ионно-легированные слои отжиг субмикронные пленки получение диэлектрические пленки алюминий применение биполярные СБИС элементная база параметры оборудование
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=75255

Similar Items