|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
75255 |
| 005 |
20231031090502.0 |
| 010 |
|
|
|a 9854762513
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\80237
|
| 090 |
|
|
|a 75255
|
| 100 |
|
|
|a 20050321d2004 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Быстрые термообработки в технологии СБИС
|f В. А. Пилипенко
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Изд-во Белорусского ГУ
|d 2004
|
| 215 |
|
|
|a 531 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Грант БрФФИ
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце глав.
|
| 320 |
|
|
|a Список сокращений: с. 528
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a СБИС
|
| 610 |
1 |
|
|a сверхбольшие интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a кремниевые пластины
|
| 610 |
1 |
|
|a нагрев
|
| 610 |
1 |
|
|a световые импульсы
|
| 610 |
1 |
|
|a быстрая термообработка
|
| 610 |
1 |
|
|a быстродиффундирующие примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a лазерное геттерирование
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-легированные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a субмикронные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a алюминий
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a биполярные СБИС
|
| 610 |
1 |
|
|a элементная база
|
| 610 |
1 |
|
|a параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.771
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Пилипенко
|b В. А.
|g Владимир Александрович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050321
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050331
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
