Ч. 2; Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок

Bibliographic Details
Parent link:Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок: материалы симпозиума. Ч. 2.— , 1977
Corporate Author: Академия наук СССР Сибирское отделение Институт физики полупроводников (АН СССР СО ИФП)
Other Authors: Александров Л. Н. (редактор)
Language:Russian
Published: 1977
Subjects:
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=74633