Зондовые нанотехнологии в электронике
| Main Author: | |
|---|---|
| Summary: | Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века Книга из коллекции Техносфера - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, Техносфера, 2014
|
| Edition: | 2-е изд., испр. |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=73521 https://e.lanbook.com/img/cover/book/73521.jpg |
| Format: | Electronic Book |
