Распыление под действием бомбардировки частицами; Вып. 3; Характеристики распыленных частиц, применения в технике

Detaylı Bibliyografya
Diğer Yazarlar:	Бериш Р. Райнер (редактор), Виттмак К. Клаус
Dil:	Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi:	Москва, Мир, 1998
Seri Bilgileri:	Проблемы прикладной физики
Konular:	физика распыление частицы биомолекулы десорбция твердые тела жидкости ионная бомбардировка зарядовые состояния угловое распределение энергетическое распределение вторичная ионная эмиссия вторичные ионы экспериментальные методы аппаратура изоляторы органические молекулы микроструктуры ионные пучки ионно-пучковое травление микротопографические структуры изготовление маскированное травление наклонные микросрезы тонкие пленки распыленные материалы осаждение постоянный ток тлеющие разряды несамостоятельные разряды высокочастотные разряды
Materyal Türü:	MixedMaterials Kitap
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=72049

Benzer Materyaller