Распыление под действием бомбардировки частицами; Вып. 3; Характеристики распыленных частиц, применения в технике

Bibliographic Details
Other Authors:	Бериш Р. Райнер (редактор), Виттмак К. Клаус
Language:	Russian
Published:	Москва, Мир, 1998
Series:	Проблемы прикладной физики
Subjects:	физика распыление частицы биомолекулы десорбция твердые тела жидкости ионная бомбардировка зарядовые состояния угловое распределение энергетическое распределение вторичная ионная эмиссия вторичные ионы экспериментальные методы аппаратура изоляторы органические молекулы микроструктуры ионные пучки ионно-пучковое травление микротопографические структуры изготовление маскированное травление наклонные микросрезы тонкие пленки распыленные материалы осаждение постоянный ток тлеющие разряды несамостоятельные разряды высокочастотные разряды
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=72049

Similar Items