|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
72049 |
| 005 |
20231031083055.0 |
| 010 |
|
|
|a 5030031189
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\76794
|
| 090 |
|
|
|a 72049
|
| 100 |
|
|
|a 20041229d1998 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Распыление под действием бомбардировки частицами
|h Вып. 3
|i Характеристики распыленных частиц, применения в технике
|f Под ред. Р. Бериша; К. Виттмака
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Мир
|d 1998
|
| 215 |
|
|
|a 551 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Проблемы прикладной физики
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце глав.
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a частицы
|
| 610 |
1 |
|
|a биомолекулы
|
| 610 |
1 |
|
|a десорбция
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкости
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная бомбардировка
|
| 610 |
1 |
|
|a зарядовые состояния
|
| 610 |
1 |
|
|a угловое распределение
|
| 610 |
1 |
|
|a энергетическое распределение
|
| 610 |
1 |
|
|a вторичная ионная эмиссия
|
| 610 |
1 |
|
|a вторичные ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a экспериментальные методы
|
| 610 |
1 |
|
|a аппаратура
|
| 610 |
1 |
|
|a изоляторы
|
| 610 |
1 |
|
|a органические молекулы
|
| 610 |
1 |
|
|a микроструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-пучковое травление
|
| 610 |
1 |
|
|a микротопографические структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a маскированное травление
|
| 610 |
1 |
|
|a наклонные микросрезы
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a распыленные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a постоянный ток
|
| 610 |
1 |
|
|a тлеющие разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a несамостоятельные разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a высокочастотные разряды
|
| 675 |
|
|
|a 539.121.7
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Бериш
|b Р.
|g Райнер
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Виттмак
|b К.
|g Клаус
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20041229
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200828
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Взаимодействие частиц с веществом
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
