Распыление под действием бомбардировки частицами

Bibliographic Details
Other Authors:	Бериш Р. Райнер (340), Виттмак К. Клаус
Published:	Москва, Мир, 1998
Series:	Проблемы прикладной физики
Subjects:	физика распыление частицы биомолекулы десорбция твердые тела жидкости ионная бомбардировка зарядовые состояния угловое распределение энергетическое распределение вторичная ионная эмиссия вторичные ионы экспериментальные методы аппаратура изоляторы органические молекулы микроструктуры ионные пучки ионно-пучковое травление микротопографические структуры изготовление маскированное травление наклонные микросрезы тонкие пленки распыленные материалы осаждение постоянный ток тлеющие разряды несамостоятельные разряды высокочастотные разряды
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=72049

Description
Physical Description:	551 с. ил.
ISBN:	5030031189

Similar Items