Распыление под действием бомбардировки частицами

Bibliografische gegevens
Andere auteurs:	Бериш Р. Райнер (340), Виттмак К. Клаус
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	Москва, Мир, 1998
Reeks:	Проблемы прикладной физики
Onderwerpen:	физика распыление частицы биомолекулы десорбция твердые тела жидкости ионная бомбардировка зарядовые состояния угловое распределение энергетическое распределение вторичная ионная эмиссия вторичные ионы экспериментальные методы аппаратура изоляторы органические молекулы микроструктуры ионные пучки ионно-пучковое травление микротопографические структуры изготовление маскированное травление наклонные микросрезы тонкие пленки распыленные материалы осаждение постоянный ток тлеющие разряды несамостоятельные разряды высокочастотные разряды
Formaat:	Boek
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=72049

Omschrijving
Fysieke beschrijving:	551 с. ил.
ISBN:	5030031189

Gelijkaardige items