|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
686781 |
| 005 |
20260724120627.0 |
| 090 |
|
|
|a 686781
|
| 100 |
|
|
|a 20260609d2026 k||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001yy
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|b e
|
| 182 |
|
0 |
|a n
|
| 183 |
|
0 |
|a nc
|2 RDAcarrier
|
| 200 |
1 |
|
|a Атомно-силовая микроскопия для задач субангстремной диагностики и модификации поверхности полупроводников
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
|e спец. 1.3.8
|f Щеглов Дмитрий Владимирович
|g науч. конс. А. В. Латышев ; Институт физики полупроводников СО РАН
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|b визуальный
|c непосредственный
|
| 210 |
|
1 |
|a Новосибирск
|d 2026
|
| 215 |
|
|
|a 35 с.
|c ил.
|
| 283 |
|
|
|a volume
|2 RDAcarrier
|
| 300 |
|
|
|a Защита сост. 21.04.2026
|
| 320 |
|
|
|a Библиография: с. 32-35 (41 назв.)
|
| 333 |
|
|
|a На правах рукописи
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводники
|x Поверхностные свойства
|9 69233
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a атомно-силовая микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a АСМ-технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 675 |
|
|
|a 537.311.322:532.6
|v 4
|
| 686 |
|
|
|2 oksvnk
|a 01.04.07
|
| 700 |
|
1 |
|a Щеглов
|b Д. В.
|g Дмитрий Владимирович
|
| 702 |
|
1 |
|4 695
|a Латышев
|b А. В.
|g Александр Васильевич
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук
|b Сибирское отделение
|b Институт физики полупроводников
|c (Новосибирск)
|4 570
|9 23267
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20260701
|
| 850 |
|
|
|a 63413507
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
