Атомно-силовая микроскопия для задач субангстремной диагностики и модификации поверхности полупроводников: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 1.3.8

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Щеглов Д. В. Дмитрий Владимирович
Autor Corporativo:	Российская академия наук Сибирское отделение Институт физики полупроводников (570)
Otros Autores:	Латышев А. В. Александр Васильевич (научный консультант)
Sumario:	Защита сост. 21.04.2026 На правах рукописи
Lenguaje:	ruso
Publicado:	Новосибирск, 2026
Materias:	Полупроводники > Поверхностные свойства физика атомно-силовая микроскопия АСМ-технологии полупроводниковые поверхности авторефераты диссертаций
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=686781

Ejemplares similares