Атомно-силовая микроскопия для задач субангстремной диагностики и модификации поверхности полупроводников: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 1.3.8

Bibliographic Details
Main Author:	Щеглов Д. В. Дмитрий Владимирович
Corporate Author:	Российская академия наук Сибирское отделение Институт физики полупроводников (570)
Other Authors:	Латышев А. В. Александр Васильевич (научный консультант)
Summary:	Защита сост. 21.04.2026 На правах рукописи
Language:	Russian
Published:	Новосибирск, 2026
Subjects:	Полупроводники > Поверхностные свойства физика атомно-силовая микроскопия АСМ-технологии полупроводниковые поверхности авторефераты диссертаций
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=686781

Similar Items