Влияние плотности энергии высокоинтенсивного пучка ионов титана на накопление и диффузию в кремнии; Физика и техника полупроводников; Т. 59, вып. 3
| Parent link: | Физика и техника полупроводников.— .— Санкт-Петербург: Наука.— 0015-3222 Т. 59, вып. 3.— 2025.— С. 150-152 |
|---|---|
| अन्य लेखक: | , , , , |
| सारांश: | Заглавие с экрана Методом синергии высокоинтенсивной имплантации и одновременного энергетического воздействия пучка ионов титана с плотностью тока 1.6 А/см2 на поверхность кремния сформированы ионно-легированные слои толщиной до 2.6 мкм. Представлены результаты закономерностей накопления титана в кремнии от длительности и частоты импульсов при фиксированной плотности мощности ионного пучка 9.6·104 Вт/см2. Методом электронной оже-спектроскопии получены распределения примеси по глубине модифицированного слоя. Рентгенофазовый анализ показал наличие фаз дисилицида титана TiSi2, силицид титана TiSi Ion-doped layers with a thickness up to 2.6 μm were formed using the method of synergy of high-intensity implantation and simultaneous energy impact of a titanium ion beam with a current density of 1.6 A/cm2 on the silicon surface. The article presents the results of the regularities of titanium accumulation in silicon from the duration and frequency of pulses, when a power density of the ion beam is fixed - 9.6 W/cm2. The Auger electron spectroscopy method was used to obtain dopant distributions over the modified layer depth. X-ray phase analysis demonstrated the presence of titanium disilicide TiSi2 and titanium silicide TiSi phases Текстовый файл |
| भाषा: | रूसी |
| प्रकाशित: |
2025
|
| विषय: | |
| ऑनलाइन पहुंच: | https://journals.ioffe.ru/articles/61093 https://elibrary.ru/item.asp?id=84085269 |
| स्वरूप: | इलेक्ट्रोनिक पुस्तक अध्याय |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=685625 |
समान संसाधन
Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
द्वारा: Иванова А. И. Анна Ивановна
प्रकाशित: (2024)
द्वारा: Иванова А. И. Анна Ивановна
प्रकाशित: (2024)
Особенности высокоинтенсивной имплантации хрома в сплав Zr1%Nb с использованием импульсно-периодического пучка ионов высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
प्रकाशित: (2024)
प्रकाशित: (2024)
Модификация стали AISI 420 импульсно-периодическим энергетическим воздействием пучка на поверхность с одновременной имплантацией ионов титана; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
प्रकाशित: (2024)
प्रकाशित: (2024)
Формирование глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности; Известия вузов. Физика; Т. 68, № 9
प्रकाशित: (2025)
प्रकाशित: (2025)
Высокоинтенсивная имплантация алюминия в титан с использованием импульсно-периодических пучков высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
प्रकाशित: (2024)
प्रकाशित: (2024)
Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
प्रकाशित: (2024)
प्रकाशित: (2024)
Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
प्रकाशित: (2024)
प्रकाशित: (2024)
Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 66, № 4
प्रकाशित: (2023)
प्रकाशित: (2023)
Modification of silicon under synergy of high-intensity implantation of titanium ions and energy influence of a high-power ion beam on a surface; Materials. Technologies. Design; Т. 6, № 1
प्रकाशित: (2024)
प्रकाशित: (2024)
Study of the synergy effect of high-intensity aluminum ions implantation into titanium and energy impact on the surface; Materials. Technologies. Design; Т. 5, № 3 (13)
प्रकाशित: (2023)
प्रकाशित: (2023)
Моделирование температурных полей в металлах и сплавах при энергетическом воздействии ионных пучков высокой импульсной мощности субмиллисекундной длительности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
द्वारा: Рябчиков А. И. Александр Ильич
प्रकाशित: (2024)
द्वारा: Рябчиков А. И. Александр Ильич
प्रकाशित: (2024)
Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
प्रकाशित: (2022)
प्रकाशित: (2022)
Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
द्वारा: Кабышев А. В. Александр Васильевич
प्रकाशित: (2013)
द्वारा: Кабышев А. В. Александр Васильевич
प्रकाशित: (2013)
Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 6
द्वारा: Кабышев А. В. Александр Васильевич
प्रकाशित: (2013)
द्वारा: Кабышев А. В. Александр Васильевич
प्रकाशित: (2013)
Особенности импульсного отжига слоёв кремния, имплантированных ионами германия; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
प्रकाशित: (2011)
प्रकाशित: (2011)
Scientific and technical discourse: linguistic and technical synergy; Язык и мировая культура: взгляд молодых исследователей; Ч. 1
द्वारा: Titova T. O.
प्रकाशित: (2014)
द्वारा: Titova T. O.
प्रकाशित: (2014)
Коррозионная устойчивость модифицированного кремнием никелида титана в плазме крови; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 322, № 3 : Химия
प्रकाशित: (2013)
प्रकाशित: (2013)
Кремний - материал наноэлектроники: учебное пособие
द्वारा: Герасименко Н. Н. Николай Николаевич
प्रकाशित: (Москва, Техносфера, 2007)
द्वारा: Герасименко Н. Н. Николай Николаевич
प्रकाशित: (Москва, Техносфера, 2007)
Влияние различных видов отжига на концентрационные профили ионов кремния, имплантированных в арсенид галлия; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
द्वारा: Чернявский А. В. Александр Викторович
प्रकाशित: (2011)
द्वारा: Чернявский А. В. Александр Викторович
प्रकाशित: (2011)
Влияние модифицирования ионами кремния поверхностных слоев никелида титана на его коррозионную стойкость в искусственных биологических средах; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 3 : Химия
प्रकाशित: (2012)
प्रकाशित: (2012)
Влияние легирования кремнием поверхностных слоев никелида титана на его коррозионную стойкость и биохимическую совместимость; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 9
प्रकाशित: (2012)
प्रकाशित: (2012)
Импульсный синтез соединений для кремниевой оптоэлектроники; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
द्वारा: Баязитов Р. М.
प्रकाशित: (2011)
द्वारा: Баязитов Р. М.
प्रकाशित: (2011)
The surface alloying effect of silicon in a binary NiTi-base alloy on the corrosion resistance and biocompatibility of the material; Russian Physics Journal; Vol. 55, iss. 9
प्रकाशित: (2013)
प्रकाशित: (2013)
Технический кремний
द्वारा: Венгин С. И. Сергей Иванович
प्रकाशित: (Москва, Металлургия, 1972)
द्वारा: Венгин С. И. Сергей Иванович
प्रकाशित: (Москва, Металлургия, 1972)
Высокоинтенсивная имплантация ионов титана в алюминий в условиях импульсно-периодического энергетического воздействия пучка на поверхность; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
द्वारा: Зайцев Д. Д.
प्रकाशित: (2023)
द्वारा: Зайцев Д. Д.
प्रकाशित: (2023)
Влияние ионного легирования кремнием, титаном, цирконием поверхностных слоев никелида титана на цитотоксичность и пролиферацию мезенхимальных стволовых клеток; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 9, ч. 2
प्रकाशित: (2011)
प्रकाशित: (2011)
Природа психологического познания в синергии "языка"; Вестник Томского государственного университета; № 367
द्वारा: Языков К. Г. Константин Геннадьевич
प्रकाशित: (2013)
द्वारा: Языков К. Г. Константин Геннадьевич
प्रकाशित: (2013)
Влияние предварительного легирования и режимов имплантации на диффузию кремния в GaAs при радиационном отжиге; Физика и техника полупроводников; Т. 38, вып. 3
द्वारा: Ардышев М. В.
प्रकाशित: (2004)
द्वारा: Ардышев М. В.
प्रकाशित: (2004)
Теоретико-методические основы спортивно-оздоровительных занятий с детьми
द्वारा: Башта Л. Ю.
प्रकाशित: (Омск, СибГУФК, 2019)
द्वारा: Башта Л. Ю.
प्रकाशित: (Омск, СибГУФК, 2019)
High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
द्वारा: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
प्रकाशित: (2012)
द्वारा: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
प्रकाशित: (2012)
Analysis of implementation possibility of the IAEA initiative on 3S synergy; Addressing Emerging Nonproliferation Challenges
द्वारा: Pushenko P. A. Polina Aleksandrovna
प्रकाशित: (2015)
द्वारा: Pushenko P. A. Polina Aleksandrovna
प्रकाशित: (2015)
Molecular Dynamics Simulations of Vacancy Generation and Migration near a Monocrystalline Silicon Surface during Energetic Cluster Ion Implantation; Coatings; Vol. 10, iss. 2
प्रकाशित: (2020)
प्रकाशित: (2020)
Анализ возможности реализации инициативы МАГАТЭ по синергии 3S; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
द्वारा: Пушенко П. А.
प्रकाशित: (2015)
द्वारा: Пушенко П. А.
प्रकाशित: (2015)
Изменение элементного состава, морфологии и микроструктуры алюминия после ионной имплантации с одновременным энергетическим воздействием на
поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
प्रकाशित: (2024)
प्रकाशित: (2024)
Кремний и германий: сборник статей; вып. 2
प्रकाशित: (Москва, Металлургия, 1970)
प्रकाशित: (Москва, Металлургия, 1970)
Микротрон с регулируемой энергией и исследование на его выведенном пучке плоскостного каналирования электронов в кристаллах: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.20.
द्वारा: Гриднев В. И. Владимир Игоревич
प्रकाशित: (Томск, 1987)
द्वारा: Гриднев В. И. Владимир Игоревич
प्रकाशित: (Томск, 1987)
Синергийность междисциплинарного подхода в практике преподавания гуманитарных дисциплин; Инженерное образование; № 20
द्वारा: Богатова Л. М. Лариса Михайловна
प्रकाशित: (2016)
द्वारा: Богатова Л. М. Лариса Михайловна
प्रकाशित: (2016)
Influence of Surface Modification of Nitinol with Silicon Using Plasma-Immersion Ion Implantation on the Alloy Corrosion Resistance in Artificial Physiological Solutions; AIP Conference Proceedings; Vol. 1683 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures
प्रकाशित: (2015)
प्रकाशित: (2015)
Modeling of carbon penetration into silicon structure under the action of pulsed high-intensity ion beam; Surface and Coatings Technology; Vol. 306, Pt. A : Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB 2015)
द्वारा: Aktaev N. E. Nurken Erbolatovich
प्रकाशित: (2016)
द्वारा: Aktaev N. E. Nurken Erbolatovich
प्रकाशित: (2016)
Повышение уровня безопасности объектов ЯТЦ путем имплементации принципа синергии 3S*; VI Школа-конференция молодых атомщиков Сибири
द्वारा: Пушенко П. А.
प्रकाशित: (2015)
द्वारा: Пушенко П. А.
प्रकाशित: (2015)