Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Божко И. А. Ирина Александровна, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, & Гурулев А. В. Александр Валерьевич. (2025). Влияние плотности энергии высокоинтенсивного пучка ионов титана на накопление и диффузию в кремнии; Физика и техника полупроводников; Т. 59, вып. 3. 2025.
Chicago Style (17th ed.) CitationИванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Божко И. А. Ирина Александровна, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, and Гурулев А. В. Александр Валерьевич. Влияние плотности энергии высокоинтенсивного пучка ионов титана на накопление и диффузию в кремнии; Физика и техника полупроводников; Т. 59, вып. 3. 2025, 2025.
MLA (9th ed.) CitationИванова А. И. Анна Ивановна, et al. Влияние плотности энергии высокоинтенсивного пучка ионов титана на накопление и диффузию в кремнии; Физика и техника полупроводников; Т. 59, вып. 3. 2025, 2025.