Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Божко И. А. Ирина Александровна, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, & Гурулев А. В. Александр Валерьевич. (2025). Влияние плотности энергии высокоинтенсивного пучка ионов титана на накопление и диффузию в кремнии; Физика и техника полупроводников; Т. 59, вып. 3. 2025.
Dyfyniad Arddull ChicagoИванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Божко И. А. Ирина Александровна, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, and Гурулев А. В. Александр Валерьевич. Влияние плотности энергии высокоинтенсивного пучка ионов титана на накопление и диффузию в кремнии; Физика и техника полупроводников; Т. 59, вып. 3. 2025, 2025.
Dyfyniad MLAИванова А. И. Анна Ивановна, et al. Влияние плотности энергии высокоинтенсивного пучка ионов титана на накопление и диффузию в кремнии; Физика и техника полупроводников; Т. 59, вып. 3. 2025, 2025.