Dyfyniad APA

Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Божко И. А. Ирина Александровна, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, & Гурулев А. В. Александр Валерьевич. (2025). Влияние плотности энергии высокоинтенсивного пучка ионов титана на накопление и диффузию в кремнии; Физика и техника полупроводников; Т. 59, вып. 3. 2025.

Dyfyniad Arddull Chicago

Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Божко И. А. Ирина Александровна, Дектярев С. В. Сергей Валентинович, and Гурулев А. В. Александр Валерьевич. Влияние плотности энергии высокоинтенсивного пучка ионов титана на накопление и диффузию в кремнии; Физика и техника полупроводников; Т. 59, вып. 3. 2025, 2025.

Dyfyniad MLA

Иванова А. И. Анна Ивановна, et al. Влияние плотности энергии высокоинтенсивного пучка ионов титана на накопление и диффузию в кремнии; Физика и техника полупроводников; Т. 59, вып. 3. 2025, 2025.

Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.