Влияние плотности мощности на формирование покрытий карбида кремния при магнетронном распылении горячей мишени; Современные проблемы машиностроения

Dettagli Bibliografici
Parent link:Современные проблемы машиностроения.— 2025.— С. 238-239
Autore principale: Фишер М. Э.
Altri autori: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Riassunto:Текстовый файл
Lingua:russo
Pubblicazione: 2025
Soggetti:
Accesso online:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/135530
Natura: Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=685511

Documenti analoghi