Влияние плотности мощности на формирование покрытий карбида кремния при магнетронном распылении горячей мишени; Современные проблемы машиностроения

Bibliographic Details
Parent link:	Современные проблемы машиностроения.— 2025.— С. 238-239
Main Author:	Фишер М. Э.
Other Authors:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Summary:	Текстовый файл
Language:	Russian
Published:	2025
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс карбид кремния магнетронное распыление покрытия
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/135530
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=685511

Internet