Влияние плотности мощности на формирование покрытий карбида кремния при магнетронном распылении горячей мишени; Современные проблемы машиностроения

Бібліографічні деталі
Parent link:	Современные проблемы машиностроения.— 2025.— С. 238-239
Автор:	Фишер М. Э.
Інші автори:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Резюме:	Текстовый файл
Мова:	Російська
Опубліковано:	2025
Предмети:	труды учёных ТПУ электронный ресурс карбид кремния магнетронное распыление покрытия
Онлайн доступ:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/135530
Формат:	Електронний ресурс Частина з книги
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=685511

Інтернет