|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
685511 |
| 005 |
20260420112739.0 |
| 090 |
|
|
|a 685511
|
| 100 |
|
|
|a 20260318d2025 k||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drbn ---uucaa
|
| 200 |
1 |
|
|a Влияние плотности мощности на формирование покрытий карбида кремния при магнетронном распылении горячей мишени
|f Фишер М. Э., Грудинин В. А.
|
| 320 |
|
|
|a Список литературы: 4 назв
|
| 336 |
|
|
|a Текстовый файл
|
| 463 |
|
1 |
|0 685326
|9 685326
|t Современные проблемы машиностроения
|o сборник статей XVIII Международной научно-технической конференции, г. Томск, 24–30 ноября 2025 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; ред. кол. М. С. Кухта, Е. Н. Пашков, А. П. Соколов [и др.]
|c Томск
|n Изд-во ТПУ
|d 2025
|u conference_tpu-2025-C45.pdf
|v С. 238-239
|
| 545 |
1 |
|
|a Материаловедение и нанотехнологии в машиностроении
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a карбид кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 700 |
|
1 |
|a Фишер
|b М. Э.
|
| 701 |
|
1 |
|a Грудинин
|b В. А.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1995-
|g Владислав Алексеевич
|9 21518
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20260318
|
| 850 |
|
|
|a 63413507
|
| 856 |
4 |
0 |
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/135530
|z http://earchive.tpu.ru/handle/11683/135530
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
