Влияние прозрачных пленок на основе Ta, Si, Al, N на локальные повреждения поверхности кварцевых пластин при воздействии высокоскоростного потока микрочастиц
| Parent link: | Известия вузов. Физика=Russian Physics Journal: научный журнал.— .— Томск: Изд-во ТГУ.— 0021-3411 Т. 67, № 9.— 2024.— С. 66-74 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Исследованы структура и свойства полученных методом импульсного магнетронного распыления тонких двухслойных пленок на кварцевых подложках: I - на основе Ta/AlSiN и II - на основе AlSiN/TaN. Величина светопропускания в видимом и ультрафиолетовом диапазонах, определенная по спектральным кривым, имеет среднее значение, близкое 59 и 24% соответственно. Оба слоя AlSiN в покрытии I и верхний слой TaN в покрытии II формируются в наноструктурном состоянии, нижний слой AlSiN в покрытии II разделяется на два: прилежащий к подложке - аморфный, располагающийся выше него - в аморфно-кристаллическом состоянии. Покрытие II имеет более высокую адгезию к кварцевой подложке по сравнению с покрытием I. Установлено, что покрытие I на основе Ta/AlSiN имеет более высокие на 15-20% механические свойства, такие как микротвердость и коэффициент упругого восстановления, что придает стеклу более высокий защитный эффект от локальных микроповреждений поверхности (кратеров) при ударах высокоскоростных микрочастиц железного порошка The structure and properties of thin bilayer films deposited on quartz substrates by pulsed magnetron sputtering were investigated: coating I is based on Ta/AlSiN and coating II is based on AlSiN/TaN. The transmittance values in the visible and ultraviolet ranges, determined from spectral curves, have average values close to 59% and 24%, respectively. Both layers in coating I and the upper TaN layer in coating II are formed in a nanostructured state. The lower AlSiN layer in coating II is divided into two layers: a layer adjacent to the substrate is amorphous, and that located above it is in an amorphous-crystalline state. Coating II exhibits higher adhesion to the quartz substrate compared to coating I. It was found that coating I based on Ta/AlSiN has the 15-20% higher mechanical properties (microhardness, modulus of elasticity, coefficient of elastic recovery), which gives the glass a higher protective effect against local surface microdamage (craters) during impacts of high-velocity iron powder micro-particles Текстовый файл AM_Agreement |
| Published: |
2024
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://elibrary.ru/item.asp?id=71303261 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=682879 |