Структурно-фазовое состояние и свойства тонких пленок на основе In-Sn-O, напыленных на кварцевые стекла методом магнетронного распыления металлической мишени из сплава индия и олова; Материалы во внешних полях (МВП-2023)
| Parent link: | Материалы во внешних полях (МВП-2023).— 2023.— С. 105-107 |
|---|---|
| Övriga upphovsmän: | , , , , |
| Sammanfattning: | Заглавие с экрана В работе представлены результаты исследования структурно-фазового состояния и физических свойств тонких пленок на основе In-Sn-O, осаждаемых на подложки из кварцевого стекла методом импульсного магнетронного распыления мишеней из сплава InSn. Методом просвечивающей электронной микроскопии установлено, что полученные композиционные покрытия In-Sn-O имеют нанокристаллическую структуру и содержат фазу (In1.875 Sn0.125)O3. Покрытия In-Sn-O характеризуются высокой степенью прозрачности (до 88 %) в видимом диапазоне длин волн и обладают высокой электропроводностью Текстовый файл |
| Språk: | ryska |
| Publicerad: |
2023
|
| Ämnen: | |
| Länkar: | https://www.sibsiu.ru/nauka-i-innovacii/konferentsii-seminary-vystavki/mvp/arch/ISMEF-2023.pdf#page=94 https://elibrary.ru/item.asp?id=54283781 |
| Materialtyp: | Elektronisk Bokavsnitt |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=682857 |
| Sammanfattning: | Заглавие с экрана В работе представлены результаты исследования структурно-фазового состояния и физических свойств тонких пленок на основе In-Sn-O, осаждаемых на подложки из кварцевого стекла методом импульсного магнетронного распыления мишеней из сплава InSn. Методом просвечивающей электронной микроскопии установлено, что полученные композиционные покрытия In-Sn-O имеют нанокристаллическую структуру и содержат фазу (In1.875 Sn0.125)O3. Покрытия In-Sn-O характеризуются высокой степенью прозрачности (до 88 %) в видимом диапазоне длин волн и обладают высокой электропроводностью Текстовый файл |
|---|