Структурно-фазовое состояние и свойства тонких пленок на основе In-Sn-O, напыленных на кварцевые стекла методом магнетронного распыления металлической мишени из сплава индия и олова

Структурно-фазовое состояние и свойства тонких пленок на основе In-Sn-O, напыленных на кварцевые стекла методом магнетронного распыления металлической мишени из сплава индия и олова

Bibliographic Details
Parent link:	Материалы во внешних полях (МВП-2023).— 2023.— С. 105-107
Other Authors:	Турсунханова Р. Рыскуль, Сергеев В. П. Виктор Петрович, Калашников М. П. Марк Петрович, Сергеев О. В. Олег Викторович, Нейфельд В. В. Василий Викторович
Summary:	Заглавие с экрана В работе представлены результаты исследования структурно-фазового состояния и физических свойств тонких пленок на основе In-Sn-O, осаждаемых на подложки из кварцевого стекла методом импульсного магнетронного распыления мишеней из сплава InSn. Методом просвечивающей электронной микроскопии установлено, что полученные композиционные покрытия In-Sn-O имеют нанокристаллическую структуру и содержат фазу (In1.875 Sn0.125)O3. Покрытия In-Sn-O характеризуются высокой степенью прозрачности (до 88 %) в видимом диапазоне длин волн и обладают высокой электропроводностью Текстовый файл
Language:	Russian
Published:	2023
Subjects:	пленки покрытия структура фазы оксид индия олова кварцевые стекла коэффициент пропускания света магнетроны вакуумная установка труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Access:	https://www.sibsiu.ru/nauka-i-innovacii/konferentsii-seminary-vystavki/mvp/arch/ISMEF-2023.pdf#page=94 https://elibrary.ru/item.asp?id=54283781
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=682857

Internet

https://www.sibsiu.ru/nauka-i-innovacii/konferentsii-seminary-vystavki/mvp/arch/ISMEF-2023.pdf#page=94
https://elibrary.ru/item.asp?id=54283781