Магнетронное осаждение двухслойных покрытий Ta/SiAlN и SiAlN/TaN для защиты кварцевых стекол от ударов гиперскоростных микрочастиц железа
| Parent link: | Проблемы прочности и пластичности материалов в условиях внешних энергетических воздействий: сборник трудов Международной научно-практической конференции, Новокузнецк, 02-03 марта 2021 года/ Сибирский государственный индустриальный университет ; под ред. В. Е. Громова. С. 132-135.— .— Новокузнецк: Издательский центр СибГИУ, 2021 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Методом импульсного магнетронного распыления получены и исследованы 2 вида образцов стекол с 2-х-слойными покрытиями: I - на основе Ta/SiAlN и II - на основе SiAlN/TaN. Оба слоя Ta и SiAlN в покрытии I и верхний слой TaN в покрытии II формируются в наностуктурном состоянии, нижний SiAlN в покрытии II - в аморфном. Покрытие I имеет более высокую микротвердость и коэффициент упругого восстановления, и вследствие этого придает стеклу более высокий защитный эффект от ударного воздействия гиперскоростных частиц железа Текстовый файл |
| Published: |
2021
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://www.sibsiu.ru/nauka-i-innovacii/konferentsii-seminary-vystavki/mvp/arch/Сборник%20ППиПМ-21.pdf#page=132 https://elibrary.ru/item.asp?id=44861245 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=682851 |