Изменение элементного состава, морфологии и микроструктуры алюминия после ионной имплантации с одновременным энергетическим воздействием на поверхность
| Parent link: | Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024).— 2024.— P. 947-953 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , |
| Summary: | Данная работа посвящена изучению особенностей и закономерностей пространственного распределения легирующей примеси, модификации морфологии поверхности и микроструктуры алюминия под воздействием субмиллисекундных импульсных пучков ионов титана с высокой плотностью мощности, зависящая от энергетических параметров ионного пучка и массогабаритных характеристик мишени. Время облучения мишеней ионами титана при различных режимах варьировалось от 60 до 120 мин при частоте импульсов от 6 до 20 имп/с. Обработка проводилась со средней энергией ионов до 70 кэВ с различной длительностью импульсов от 250 до 450 мкс. Плотность ионного тока варьировалась от 1 до 2 А/см2 . В работе представлены результаты исследования ионнолегированного слоя методами сканирующей электронной микроскопии, рентгенофазового анализа и просвечивающей электронной микроскопии Текстовый файл |
| Language: | Russian |
| Published: |
2024
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-O-034902.pdf https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=292 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678386 |