Изменение элементного состава, морфологии и микроструктуры алюминия после ионной имплантации с одновременным энергетическим воздействием на поверхность

Bibliographic Details
Parent link:Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024).— 2024.— P. 947-953
Other Authors: Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Мерзляков И. Иван, Гурулев А. В. Александр Валерьевич, Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д., Божко И. А. Ирина Александровна
Summary:Данная работа посвящена изучению особенностей и закономерностей пространственного распределения легирующей примеси, модификации морфологии поверхности и микроструктуры алюминия под воздействием субмиллисекундных импульсных пучков ионов титана с высокой плотностью мощности, зависящая от энергетических параметров ионного пучка и массогабаритных характеристик мишени. Время облучения мишеней ионами титана при различных режимах варьировалось от 60 до 120 мин при частоте импульсов от 6 до 20 имп/с. Обработка проводилась со средней энергией ионов до 70 кэВ с различной длительностью импульсов от 250 до 450 мкс. Плотность ионного тока варьировалась от 1 до 2 А/см2 . В работе представлены результаты исследования ионнолегированного слоя методами сканирующей электронной микроскопии, рентгенофазового анализа и просвечивающей электронной микроскопии
Текстовый файл
Language:Russian
Published: 2024
Subjects:
Online Access:https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-O-034902.pdf
https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=292
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678386