Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов

Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов

Bibliographic Details
Parent link:	Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024): Proceedings of 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024), Tomsk, September 16-21, 2024. P. 1028-1034.— .— Tomsk: Academizdat Publishing, 2024.— https://hcei.tsc.ru/ru/nauka/conference/efre-2024.html
Other Authors:	Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Божко И. А. Ирина Александровна, Гурулев А. В. Александр Валерьевич, Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д., Мерзляков И. Иван
Summary:	Методы модификации поверхностных и приповерхностных слоев материалов и покрытий ионными пучками находят применение во многих областях науки и техники. Настоящая работа посвящена исследованию закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсной имплантации высокоинтенсивным пучком ионов. Показана возможность ионного легирования кремния титаном в режиме синергии высокоинтенсивной имплантации ионов и энергетического воздействия пучка на глубинах, почти на 2 порядка превышающих проективный пробег ионов. Представлены результаты исследования микроструктуры ионно-легированных слоев методом просвечивающей электронной микроскопии Текстовый файл
Published:	2024
Subjects:	кремний титан ионная имплантация энергетическое воздействие модификация поверхности приповерхностные слои диффузия атомов электронный ресурс труды учёных ТПУ
Online Access:	https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-P-032803.pdf https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=321
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678385

Similar Items

Влияние плазменно-иммерсионной ионной имплантации титана на структуру, морфологию и состав приповерхностного слоя сплава Zr–1Nb
Published: (2017)

Влияние высокодозной ионной имплантации и акустических колебаний на деформационное поведение и износостойкость стали 45
by: Гриценко Б. П. Борис Петрович
Published: (2004)

Особенности высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии
Published: (2020)

Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность
Published: (2023)

Features of thermal processes and the influence of pulsed heating of surface layers of titanium on the diffusion transfer of dopants during high-intensity ion implantation
by: Gurulev A. V. Aleksandr Valerjevich
Published: (2023)

Модификация стали 40Х при высокоинтенсивной имплантации ионов азота
Published: (2018)

Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность
Published: (2024)

Высокоинтенсивная имплантация ионов титана в алюминий в условиях импульсно-периодического энергетического воздействия пучка на поверхность
by: Зайцев Д. Д.
Published: (2023)

Исследование барьерного слоя в металлах и его влияние на кинетику и фазообразование в слоистой системе Fе-Bе диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Нуркенов С. А. Серик Амангельдинович
Published: (Астана, 2017)

Исследование барьерного слоя в металлах и его влияние на кинетику и фазообразование в слоистой системе Fе-Bе автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Нуркенов С. А. Серик Амангельдинович
Published: (Томск, 2017)

Управление видом стружки посредством ионной имплантации инструментальной поверхности
by: Ласуков А. А. Александр Александрович
Published: (2005)

Повышение прочности рабочих поверхностей интструмента методом ионной имплантации
by: Солдатов А. К.
Published: (2008)

Влияние ионной имплантации на стойкость томала-10
by: Ретюнский О. Ю.
Published: (2000)

Динамическая модель начальной стадии процесса ионной имплантации
by: Демидов В. Н. Валерий Николаевич
Published: (2012)

Модификация поверхностных слоёв титана при ионной имплантации алюминия
Published: (2003)

Применение ионной имплантации с целью повышения стойкости металлорежущих инструментов
by: Брюхов В. В.
Published: (2001)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 01.04.20
by: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Published: (Томск, 2010)

Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации
by: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Published: (2015)

Модификация поверхности поливинилового спирта и политетрафторэтилена методом ионной имплантации
by: Лапуть О. А.
Published: (2016)

Изготовление слоев изотопически чистых актиноидных элементов на различных подложках методом ионной имплантации
Published: (2017)

Повышение стойкости инструмента методом ионной имплантации
by: Брюхов В. В.
Published: (Томск, Изд-во НТЛ, 2003)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 01.04.20
by: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2010)

Моделирование процесса ионной имплантации в поверхность мишени с покрытием
by: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Published: (2016)

Исследование профиля концентрации атомов металлов в поверхностном слое полилактида после ионной имплантации
by: Зуза Д. А.
Published: (2018)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 01.04.20
by: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Published: (Томск, 2010)

Влияние ионной имплантации инструмента на вид образующейся стружки
by: Ласуков А. А. Александр Александрович
Published: (2005)

Формирование мощных импульсных пучков ионов титана субмиллисекундной длительности из плазмы вакуумной дуги
Published: (2022)

Изменение поверхностных свойств изоляторов после ионной имплантации
by: Лебедь К. В.
Published: (2008)

Модифицирование поверхности циркониевого сплава Э110 методом высокоинтенсивной ионной имплантации
by: Курочкин А. В.
Published: (2019)

Возможности повышения эффективности алмазного инструмента методом ионной имплантации
by: Некрасова Т. В.
Published: (2008)

Формирование концентрационных профилей имплантируемых ионов в титане и никеле в зависимости от структуры образцов и режимов облучения
Published: (2011)

Исследование влияния ионной имплантации на напряжённо-деформированное состояние режущей части инструмента
by: Качанова А. С.
Published: (2008)

Фундаментальные вопросы ионной имплантации материалы III Всесоюзной школы, 17-23 июня 1985 г., Алма-Ата
Published: (Алма-Ата, Наука, 1987)

Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность
Published: (2022)

Сорбция и захват водорода поверхностно-легированным слоем циркониевого сплава, сформированным при ионной имплантации титана
by: Чжоу Цзысянь
Published: (2019)

Взаимодействие и накопление водорода в циркониевом сплаве, подвергнутом плазменно-иммерсионной ионной имплантации титана
by: Захарченко С. А.
Published: (2018)

Деформация и разрушение модифицированных ионными пучками материалов при трении диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 01.04.07
by: Гриценко Б. П. Борис Петрович
Published: (Томск, [Б. и.], 2007)

Плазменно-иммерсионная ионная имплантация алюминия в титан ВТ1-0
by: Сутыгина А. Н. Алина Николаевна
Published: (2015)

Формирование пучков ионов хрома субмиллисекундной длительности с высокой импульсной плотностью мощности
by: Гурулев А. В. Александр Валерьевич
Published: (2023)

Исследование влияния ионной имплантации на поведение поверхностно-упрочнённых образцов стали 12Х18Н10Т при трёхточечном изгибе
by: Яндюк М. А.
Published: (2006)