Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)

Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)

Bibliographic Details
Parent link:	Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024).— 2024.— P. 1028-1034
Other Authors:	Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Божко И. А. Ирина Александровна, Гурулев А. В. Александр Валерьевич, Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д., Мерзляков И. Иван
Summary:	Методы модификации поверхностных и приповерхностных слоев материалов и покрытий ионными пучками находят применение во многих областях науки и техники. Настоящая работа посвящена исследованию закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсной имплантации высокоинтенсивным пучком ионов. Показана возможность ионного легирования кремния титаном в режиме синергии высокоинтенсивной имплантации ионов и энергетического воздействия пучка на глубинах, почти на 2 порядка превышающих проективный пробег ионов. Представлены результаты исследования микроструктуры ионно-легированных слоев методом просвечивающей электронной микроскопии Текстовый файл
Language:	Russian
Published:	2024
Subjects:	кремний титан ионная имплантация энергетическое воздействие модификация поверхности приповерхностные слои диффузия атомов электронный ресурс труды учёных ТПУ
Online Access:	https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-P-032803.pdf https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=321
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678385

Similar Items

Влияние плазменно-иммерсионной ионной имплантации титана на структуру, морфологию и состав приповерхностного слоя сплава Zr–1Nb; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 4
Published: (2017)

Влияние высокодозной ионной имплантации и акустических колебаний на деформационное поведение и износостойкость стали 45; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 4
by: Гриценко Б. П. Борис Петрович
Published: (2004)

Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
Published: (2022)

Особенности высокоинтенсивной имплантации хрома в сплав Zr1%Nb с использованием импульсно-периодического пучка ионов высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Published: (2024)

Radiation Hardening of Ni-Ti Alloy Under Implantation of Inert Gases Heavy Ions; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 110 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2015)
Published: (2016)

Формирование глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности; Известия вузов. Физика; Т. 68, № 9
Published: (2025)

Features of thermal processes and the influence of pulsed heating of surface layers of titanium on the diffusion transfer of dopants during high-intensity ion implantation; Materials. Technologies. Design; Т. 5, № 3 (13)
by: Gurulev A. V. Aleksandr Valerjevich
Published: (2023)

Deformation characteristics of the near-surface layers of zirconia ceramics implanted with aluminum ions; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 93: Modern Technique and Technologies (MTT'2015)
Published: (2015)

Моделирование температурных полей в мишенях при совмещенииимпульсно-периодической высокоинтенсивной имплантации ионов иэнергетическом воздействии на поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Published: (2022)

Высокоинтенсивная имплантация алюминия в титан с использованием импульсно-периодических пучков высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Published: (2024)

Модификация стали AISI 420 импульсно-периодическим энергетическим воздействием пучка на поверхность с одновременной имплантацией ионов титана; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Published: (2024)

Изменение элементного состава, морфологии и микроструктуры алюминия после ионной имплантации с одновременным энергетическим воздействием на поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
Published: (2024)

Предвестник виртуальной β-фазы в электронном строении нанокластера в α-титане; Физическая мезомеханика; Т. 9, № 3
Published: (2006)

Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
by: Иванова А. И. Анна Ивановна
Published: (2024)

Нанотвердость и износостойкость высокопрочных сталей 38ХНЗМФА и ШХ-15, имплантированных ионами (Al+B), (Ti+B), Ti; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 1
Published: (2006)

The mathematical model of the initial stage of surface treatment with particle flux; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
by: Parfenova E. S. Elena Sergeevna
Published: (2016)

Исследование барьерного слоя в металлах и его влияние на кинетику и фазообразование в слоистой системе Fе-Bе: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Нуркенов С. А. Серик Амангельдинович
Published: (Астана, 2017)

Исследование барьерного слоя в металлах и его влияние на кинетику и фазообразование в слоистой системе Fе-Bе: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Нуркенов С. А. Серик Амангельдинович
Published: (Томск, 2017)

Влияние высокодозной имплантации ионов азота на износостойкость медных пар трения; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
by: Жарков С. Ю.
Published: (2014)

Воздействие мощным импульсным ионным пучком углерода на приповерхностные слои циркониевой керамики; Перспективы развития фундаментальных наук
Published: (2014)

Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 66, № 4
Published: (2023)

Повышение стойкости инструмента методом ионной имплантации
by: Брюхов В. В.
Published: (Томск, Изд-во НТЛ, 2003)

Индуцированные сильноточным импульсным пучком низкоэнергетических электронов структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях корундо-циркониевой керамики; Перспективные материалы; № 3
Published: (2008)

Деформация и разрушение модифицированных ионными пучками материалов при трении: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
by: Гриценко Б. П. Борис Петрович
Published: (Томск, [Б. и.], 2007)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2013)

Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Published: (2024)

Temperature Gradients in the Targets During High-Intensity Implantation in Forced Cooling; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online)
Published: (2020)

Повышение прочности рабочих поверхностей интструмента методом ионной имплантации; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Солдатов А. К.
Published: (2008)

Influence of ion implantation on mechanical properties of U8А steel and cobalt-tungsten carbide plates; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Published: (2016)

The influence of ion irradiation on the properties of ceramic silicon carbide; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Published: (2016)

Деформация и разрушение модифицированных ионными пучками материалов при трении: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
by: Гриценко Б. П. Борис Петрович
Published: (Томск, [Б. и.], 2007)

Нелинейная ионизация атомов лазерным излучением
by: Делоне Н. Б.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2001)

Управление видом стружки посредством ионной имплантации инструментальной поверхности; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении; Т. 1
by: Ласуков А. А. Александр Александрович
Published: (2005)

Влияние костного гомеостаза на исход дентальной имплантации учебное пособие
by: Лысов Д. Н.
Published: (Самара, 2023)

Ионно-лучевая обработки внутренней поверхности отверстий из титана высокоинтенсивными пучками ионов алюминия; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Published: (2022)

Influence of repetitively-pulsed plasma immersion low energy on implantation to tin coating properties formation; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Published: (2016)

Деформация и разрушение модифицированных ионными пучками материалов при трении: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
by: Гриценко Б. П. Борис Петрович
Published: (Томск, [Б. и.], 2007)

Получение высоких концентраций примеси при импульсно-периодической имплантации ионов; Поверхность. Физика, химия, механика; № 3
by: Рябчиков А. И. Александр Ильич
Published: (1992)

Оптические свойства оксида алюминия после имплантации ионов кобальта и отжига; ФВЗЧК-2008
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2008)

Investigation of Regularities of High-Intensity Ion Implantation in Combination with Subsequent Exposure to the Surface of a High-Current Electron Beam; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online)
Published: (2020)