Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
| Parent link: | Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024).— 2024.— P. 1028-1034 |
|---|---|
| מחברים אחרים: | , , , , , |
| סיכום: | Методы модификации поверхностных и приповерхностных слоев материалов и покрытий ионными пучками находят применение во многих областях науки и техники. Настоящая работа посвящена исследованию закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсной имплантации высокоинтенсивным пучком ионов. Показана возможность ионного легирования кремния титаном в режиме синергии высокоинтенсивной имплантации ионов и энергетического воздействия пучка на глубинах, почти на 2 порядка превышающих проективный пробег ионов. Представлены результаты исследования микроструктуры ионно-легированных слоев методом просвечивающей электронной микроскопии Текстовый файл |
| שפה: | רוסית |
| יצא לאור: |
2024
|
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-P-032803.pdf https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=321 |
| פורמט: | אלקטרוני Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678385 |
פריטים דומים
Влияние плазменно-иммерсионной ионной имплантации титана на структуру, морфологию и состав приповерхностного слоя сплава Zr–1Nb; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 4
יצא לאור: (2017)
יצא לאור: (2017)
Влияние высокодозной ионной имплантации и акустических колебаний на деформационное поведение и износостойкость стали 45; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 4
מאת: Гриценко Б. П. Борис Петрович
יצא לאור: (2004)
מאת: Гриценко Б. П. Борис Петрович
יצא לאור: (2004)
Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 65, № 11
יצא לאור: (2022)
יצא לאור: (2022)
Особенности высокоинтенсивной имплантации хрома в сплав Zr1%Nb с использованием импульсно-периодического пучка ионов высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
יצא לאור: (2024)
יצא לאור: (2024)
Radiation Hardening of Ni-Ti Alloy Under Implantation of Inert Gases Heavy Ions; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 110 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2015)
יצא לאור: (2016)
יצא לאור: (2016)
Формирование глубоколегированных слоев при импульсно-периодической имплантации алюминия пучками ионов титана высокой плотности мощности; Известия вузов. Физика; Т. 68, № 9
יצא לאור: (2025)
יצא לאור: (2025)
Features of thermal processes and the influence of pulsed heating of surface layers of titanium on the diffusion transfer of dopants during high-intensity ion implantation; Materials. Technologies. Design; Т. 5, № 3 (13)
מאת: Gurulev A. V. Aleksandr Valerjevich
יצא לאור: (2023)
מאת: Gurulev A. V. Aleksandr Valerjevich
יצא לאור: (2023)
Deformation characteristics of the near-surface layers of zirconia ceramics implanted with aluminum ions; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 93: Modern Technique and Technologies (MTT'2015)
יצא לאור: (2015)
יצא לאור: (2015)
Моделирование температурных полей в мишенях при совмещенииимпульсно-периодической высокоинтенсивной имплантации ионов иэнергетическом воздействии на поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
יצא לאור: (2022)
יצא לאור: (2022)
Высокоинтенсивная имплантация алюминия в титан с использованием импульсно-периодических пучков высокой плотности мощности; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
יצא לאור: (2024)
יצא לאור: (2024)
Модификация стали AISI 420 импульсно-периодическим энергетическим воздействием пучка на поверхность с одновременной имплантацией ионов титана; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
יצא לאור: (2024)
יצא לאור: (2024)
Изменение элементного состава, морфологии и микроструктуры алюминия после ионной имплантации с одновременным энергетическим воздействием на
поверхность; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
יצא לאור: (2024)
יצא לאור: (2024)
Предвестник виртуальной β-фазы в электронном строении нанокластера в α-титане; Физическая мезомеханика; Т. 9, № 3
יצא לאור: (2006)
יצא לאור: (2006)
Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
מאת: Иванова А. И. Анна Ивановна
יצא לאור: (2024)
מאת: Иванова А. И. Анна Ивановна
יצא לאור: (2024)
Нанотвердость и износостойкость высокопрочных сталей 38ХНЗМФА и ШХ-15, имплантированных ионами (Al+B), (Ti+B), Ti; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 1
יצא לאור: (2006)
יצא לאור: (2006)
The mathematical model of the initial stage of surface treatment with particle flux; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
מאת: Parfenova E. S. Elena Sergeevna
יצא לאור: (2016)
מאת: Parfenova E. S. Elena Sergeevna
יצא לאור: (2016)
Исследование барьерного слоя в металлах и его влияние на кинетику и фазообразование в слоистой системе Fе-Bе: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
מאת: Нуркенов С. А. Серик Амангельдинович
יצא לאור: (Астана, 2017)
מאת: Нуркенов С. А. Серик Амангельдинович
יצא לאור: (Астана, 2017)
Исследование барьерного слоя в металлах и его влияние на кинетику и фазообразование в слоистой системе Fе-Bе: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
מאת: Нуркенов С. А. Серик Амангельдинович
יצא לאור: (Томск, 2017)
מאת: Нуркенов С. А. Серик Амангельдинович
יצא לאור: (Томск, 2017)
Влияние высокодозной имплантации ионов азота на износостойкость медных пар трения; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
מאת: Жарков С. Ю.
יצא לאור: (2014)
מאת: Жарков С. Ю.
יצא לאור: (2014)
Воздействие мощным импульсным ионным пучком углерода на приповерхностные слои циркониевой керамики; Перспективы развития фундаментальных наук
יצא לאור: (2014)
יצא לאור: (2014)
Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность; Известия вузов. Физика; Т. 66, № 4
יצא לאור: (2023)
יצא לאור: (2023)
Повышение стойкости инструмента методом ионной имплантации
מאת: Брюхов В. В.
יצא לאור: (Томск, Изд-во НТЛ, 2003)
מאת: Брюхов В. В.
יצא לאור: (Томск, Изд-во НТЛ, 2003)
Индуцированные сильноточным импульсным пучком низкоэнергетических электронов структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях корундо-циркониевой керамики; Перспективные материалы; № 3
יצא לאור: (2008)
יצא לאור: (2008)
Деформация и разрушение модифицированных ионными пучками материалов при трении: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
מאת: Гриценко Б. П. Борис Петрович
יצא לאור: (Томск, [Б. и.], 2007)
מאת: Гриценко Б. П. Борис Петрович
יצא לאור: (Томск, [Б. и.], 2007)
Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
מאת: Кабышев А. В. Александр Васильевич
יצא לאור: (2013)
מאת: Кабышев А. В. Александр Васильевич
יצא לאור: (2013)
Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
יצא לאור: (2024)
יצא לאור: (2024)
Temperature Gradients in the Targets During High-Intensity Implantation in Forced Cooling; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online)
יצא לאור: (2020)
יצא לאור: (2020)
Повышение прочности рабочих поверхностей интструмента методом ионной имплантации; Современные техника и технологии; Т. 1
מאת: Солдатов А. К.
יצא לאור: (2008)
מאת: Солдатов А. К.
יצא לאור: (2008)
Influence of ion implantation on mechanical properties of U8А steel and cobalt-tungsten carbide plates; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
יצא לאור: (2016)
יצא לאור: (2016)
The influence of ion irradiation on the properties of ceramic silicon carbide; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
יצא לאור: (2016)
יצא לאור: (2016)
Деформация и разрушение модифицированных ионными пучками материалов при трении: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
מאת: Гриценко Б. П. Борис Петрович
יצא לאור: (Томск, [Б. и.], 2007)
מאת: Гриценко Б. П. Борис Петрович
יצא לאור: (Томск, [Б. и.], 2007)
Нелинейная ионизация атомов лазерным излучением
מאת: Делоне Н. Б.
יצא לאור: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2001)
מאת: Делоне Н. Б.
יצא לאור: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2001)
Управление видом стружки посредством ионной имплантации инструментальной поверхности; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении; Т. 1
מאת: Ласуков А. А. Александр Александрович
יצא לאור: (2005)
מאת: Ласуков А. А. Александр Александрович
יצא לאור: (2005)
Влияние костного гомеостаза на исход дентальной имплантации учебное пособие
מאת: Лысов Д. Н.
יצא לאור: (Самара, 2023)
מאת: Лысов Д. Н.
יצא לאור: (Самара, 2023)
Ионно-лучевая обработки внутренней поверхности отверстий из титана высокоинтенсивными пучками ионов алюминия; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
יצא לאור: (2022)
יצא לאור: (2022)
Influence of repetitively-pulsed plasma immersion low energy on implantation to tin coating properties formation; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
יצא לאור: (2016)
יצא לאור: (2016)
Деформация и разрушение модифицированных ионными пучками материалов при трении: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
מאת: Гриценко Б. П. Борис Петрович
יצא לאור: (Томск, [Б. и.], 2007)
מאת: Гриценко Б. П. Борис Петрович
יצא לאור: (Томск, [Б. и.], 2007)
Получение высоких концентраций примеси при импульсно-периодической имплантации ионов; Поверхность. Физика, химия, механика; № 3
מאת: Рябчиков А. И. Александр Ильич
יצא לאור: (1992)
מאת: Рябчиков А. И. Александр Ильич
יצא לאור: (1992)
Оптические свойства оксида алюминия после имплантации ионов кобальта и отжига; ФВЗЧК-2008
מאת: Кабышев А. В. Александр Васильевич
יצא לאור: (2008)
מאת: Кабышев А. В. Александр Васильевич
יצא לאור: (2008)
Investigation of Regularities of High-Intensity Ion Implantation in Combination with Subsequent Exposure to the Surface of a High-Current Electron Beam; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online)
יצא לאור: (2020)
יצא לאור: (2020)