Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)

מידע ביבליוגרפי
Parent link:Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024).— 2024.— P. 1028-1034
מחברים אחרים: Иванова А. И. Анна Ивановна, Корнева О. С. Ольга Сергеевна, Божко И. А. Ирина Александровна, Гурулев А. В. Александр Валерьевич, Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д., Мерзляков И. Иван
סיכום:Методы модификации поверхностных и приповерхностных слоев материалов и покрытий ионными пучками находят применение во многих областях науки и техники. Настоящая работа посвящена исследованию закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсной имплантации высокоинтенсивным пучком ионов. Показана возможность ионного легирования кремния титаном в режиме синергии высокоинтенсивной имплантации ионов и энергетического воздействия пучка на глубинах, почти на 2 порядка превышающих проективный пробег ионов. Представлены результаты исследования микроструктуры ионно-легированных слоев методом просвечивающей электронной микроскопии
Текстовый файл
שפה:רוסית
יצא לאור: 2024
נושאים:
גישה מקוונת:https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-P-032803.pdf
https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=321
פורמט: אלקטרוני Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678385

פריטים דומים