Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов
| Parent link: | Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024): Proceedings of 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024), Tomsk, September 16-21, 2024. P. 1028-1034.— .— Tomsk: Academizdat Publishing, 2024.— https://hcei.tsc.ru/ru/nauka/conference/efre-2024.html |
|---|---|
| Altres autors: | , , , , , |
| Sumari: | Методы модификации поверхностных и приповерхностных слоев материалов и покрытий ионными пучками находят применение во многих областях науки и техники. Настоящая работа посвящена исследованию закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсной имплантации высокоинтенсивным пучком ионов. Показана возможность ионного легирования кремния титаном в режиме синергии высокоинтенсивной имплантации ионов и энергетического воздействия пучка на глубинах, почти на 2 порядка превышающих проективный пробег ионов. Представлены результаты исследования микроструктуры ионно-легированных слоев методом просвечивающей электронной микроскопии Текстовый файл |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2024
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-P-032803.pdf https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=321 |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678385 |