Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
| Parent link: | Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024).— 2024.— P. 1028-1034 |
|---|---|
| Інші автори: | , , , , , |
| Резюме: | Методы модификации поверхностных и приповерхностных слоев материалов и покрытий ионными пучками находят применение во многих областях науки и техники. Настоящая работа посвящена исследованию закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсной имплантации высокоинтенсивным пучком ионов. Показана возможность ионного легирования кремния титаном в режиме синергии высокоинтенсивной имплантации ионов и энергетического воздействия пучка на глубинах, почти на 2 порядка превышающих проективный пробег ионов. Представлены результаты исследования микроструктуры ионно-легированных слоев методом просвечивающей электронной микроскопии Текстовый файл |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
2024
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-P-032803.pdf https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=321 |
| Формат: | Електронний ресурс Частина з книги |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678385 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 678385 | ||
| 005 | 20250619104755.0 | ||
| 090 | |a 678385 | ||
| 100 | |a 20250130d2024 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i |b e | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 183 | 0 | |a cr |2 RDAcarrier | |
| 200 | 1 | |a Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов |d Study of Regularities of Titanium Accumulation and Diffusion in Silicon During Repetitively-Pulsed Implantation with a High-Intense Ion Beam |z eng |f А. И. Иванова, О. С. Корнева, И. А. Божко [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный |b визуальный | ||
| 283 | |a online_resource |2 RDAcarrier | ||
| 320 | |a Список литературы: 13 назв | ||
| 330 | |a Методы модификации поверхностных и приповерхностных слоев материалов и покрытий ионными пучками находят применение во многих областях науки и техники. Настоящая работа посвящена исследованию закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсной имплантации высокоинтенсивным пучком ионов. Показана возможность ионного легирования кремния титаном в режиме синергии высокоинтенсивной имплантации ионов и энергетического воздействия пучка на глубинах, почти на 2 порядка превышающих проективный пробег ионов. Представлены результаты исследования микроструктуры ионно-легированных слоев методом просвечивающей электронной микроскопии | ||
| 336 | |a Текстовый файл | ||
| 463 | 1 | |t Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024) |o Proceedings of 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024), Tomsk, September 16-21, 2024 |c Tomsk |n Academizdat Publishing |d 2024 |v P. 1028-1034 |u https://hcei.tsc.ru/ru/nauka/conference/efre-2024.html | |
| 610 | 1 | |a кремний | |
| 610 | 1 | |a титан | |
| 610 | 1 | |a ионная имплантация | |
| 610 | 1 | |a энергетическое воздействие | |
| 610 | 1 | |a модификация поверхности | |
| 610 | 1 | |a приповерхностные слои | |
| 610 | 1 | |a диффузия атомов | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 701 | 1 | |a Иванова |b А. И. |c физик |c младший научный сотрудник Томского политехнического университета |f 1987- |g Анна Ивановна |9 20001 | |
| 701 | 1 | |a Корнева |b О. С. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1988- |g Ольга Сергеевна |9 19812 | |
| 701 | 1 | |a Божко |b И. А. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1980- |g Ирина Александровна |9 14943 | |
| 701 | 1 | |a Гурулев |b А. В. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1998- |g Александр Валерьевич |9 88472 | |
| 701 | 1 | |a Зайцев |g Даниил Дмитриевич |b Д. Д. |f 2001- |c специалист в области ядерных технологий |c инженер Томского политехнического университета |9 88688 | |
| 701 | 1 | |a Мерзляков |b И. |g Иван |f 2001- |c физик |c инженер Томского политехнического университета |7 ca |8 rus |y Томск |9 88826 | |
| 801 | 0 | |a RU |b 63413507 |c 20250128 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-P-032803.pdf |z https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-P-032803.pdf | |
| 856 | 4 | |u https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=321 |z https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=321 | |
| 942 | |c CF | ||