|
|
|
|
| LEADER |
00000naa0a2200000 4500 |
| 001 |
678377 |
| 005 |
20250306105819.0 |
| 090 |
|
|
|a 678377
|
| 100 |
|
|
|a 20250130d2024 k||y0rusy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|b e
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 183 |
|
0 |
|a cr
|2 RDAcarrier
|
| 200 |
1 |
|
|a Numerical Simulation of Thermal Processes and Influence of Heating Surface Layers of Silicon on the Titanium Accumulation and Diffusion During High-Intensity Pulse Ion Implantation
|d Численное моделирование тепловых процессов и влияния нагрева приповерхностных слоев кремния на накопление и диффузию титана при высокоинтенсивной импульсной ионной имплантации
|z rus
|f Anna Ivanova, Galina Bleykher, Daniil Zaytsev
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|b визуальный
|
| 283 |
|
|
|a online_resource
|2 RDAcarrier
|
| 336 |
|
|
|a Текстовый файл
|
| 463 |
|
1 |
|t Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024)
|o Abstracts of 9th International Congress, Tomsk, September 16-21, 2024
|c Tomsk
|n Academizdat Publishing
|d 2024
|v P. 322
|u https://efre.ru/abstracts?ysclid=m3zkkvf041603477442
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Ivanova
|b A. I.
|c physicist
|c Associate Scientist of Tomsk Polytechnic University
|f 1987-
|g Anna Ivanovna
|9 20002
|
| 701 |
|
1 |
|a Bleykher (Bleicher)
|b G. A.
|c physicist
|c Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of Physical and Mathematical Sciences
|f 1961-
|g Galina Alekseevna
|9 15657
|
| 701 |
|
1 |
|a Zaytsev
|g Daniil Dmitrievich
|b D. D.
|f 2001-
|c specialist in the field of nuclear technologies
|c Engineer of Tomsk Polytechnic University
|y Tomsk
|9 88759
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20250130
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=322
|z https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=322
|
| 856 |
4 |
|
|u https://hcei.tsc.ru/files/ru/nauka/conference/efre-2024/C3-P-032804.pdf
|z Статья на русском языке
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
