Numerical Simulation of Thermal Processes and Influence of Heating Surface Layers of Silicon on the Titanium Accumulation and Diffusion During High-Intensity Pulse Ion Implantation

التفاصيل البيبلوغرافية
Parent link:Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024): Abstracts of 9th International Congress, Tomsk, September 16-21, 2024. P. 322.— .— Tomsk: Academizdat Publishing, 2024.— https://efre.ru/abstracts?ysclid=m3zkkvf041603477442
المؤلف الرئيسي: Ivanova A. I. Anna Ivanovna
مؤلفون آخرون: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna, Zaytsev Daniil Dmitrievich D. D.
الملخص:Текстовый файл
منشور في: 2024
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://efre.ru/download/EFRE-2024-Abstracts.pdf#page=322
Статья на русском языке
التنسيق: الكتروني فصل الكتاب
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678377