|
|
|
|
| LEADER |
00000naa0a2200000 4500 |
| 001 |
678363 |
| 005 |
20250129104953.0 |
| 090 |
|
|
|a 678363
|
| 100 |
|
|
|a 20250129d2024 k||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|b e
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 183 |
|
0 |
|a cr
|2 RDAcarrier
|
| 200 |
1 |
|
|a Численное моделирование диффузионных процессов в кремнии при импульсно-периодическом воздействии пучка ионов титана высокой плотности мощности
|f А. И. Иванова, Г. А. Блейхер, Д. Д. Зайцев, О. С. Корнева
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|b визуальный
|
| 283 |
|
|
|a online_resource
|2 RDAcarrier
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 336 |
|
|
|a Текстовый файл
|
| 463 |
|
1 |
|t Физические и физико-химические основы ионной имплантации
|o тезисы докладов IX Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов, Нижний Новгород, 22–25 октября 2024 г
|f Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
|c Нижний Новгород
|n ННГУ
|d 2024
|v С. 22
|u https://implantation.unn.ru/files/
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 701 |
|
1 |
|a Иванова
|b А. И.
|c физик
|c младший научный сотрудник Томского политехнического университета
|f 1987-
|g Анна Ивановна
|9 20001
|
| 701 |
|
1 |
|a Блейхер
|b Г. А.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1961-
|g Галина Алексеевна
|9 13681
|
| 701 |
|
1 |
|a Зайцев
|g Даниил Дмитриевич
|b Д. Д.
|f 2001-
|c специалист в области ядерных технологий
|c инженер Томского политехнического университета
|9 88688
|
| 701 |
|
1 |
|a Корнева
|b О. С.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1988-
|g Ольга Сергеевна
|9 19812
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20250129
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u https://implantation.unn.ru/wp-content/uploads/2024/10/Сборник-тезисов-ФФХОИИ-2024.pdf#page=22
|z https://implantation.unn.ru/wp-content/uploads/2024/10/Сборник-тезисов-ФФХОИИ-2024.pdf#page=22
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
