Численное моделирование диффузионных процессов в кремнии при импульсно-периодическом воздействии пучка ионов титана высокой плотности мощности

Bibliographic Details
Parent link:	Физические и физико-химические основы ионной имплантации: тезисы докладов IX Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов, Нижний Новгород, 22–25 октября 2024 г/ Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского. С. 22.— .— Нижний Новгород: ННГУ, 2024.— https://implantation.unn.ru/files/
Other Authors:	Иванова А. И. Анна Ивановна, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д., Корнева О. С. Ольга Сергеевна
Summary:	Заглавие с экрана Текстовый файл
Language:	Russian
Published:	2024
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Access:	https://implantation.unn.ru/wp-content/uploads/2024/10/Сборник-тезисов-ФФХОИИ-2024.pdf#page=22
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678363

Internet