Численное моделирование диффузионных процессов в кремнии при импульсно-периодическом воздействии пучка ионов титана высокой плотности мощности

Bibliographic Details
Parent link:	Физические и физико-химические основы ионной имплантации.— 2024.— С. 22
Other Authors:	Иванова А. И. Анна Ивановна, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д., Корнева О. С. Ольга Сергеевна
Summary:	Заглавие с экрана Текстовый файл
Language:	Russian
Published:	2024
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Access:	https://implantation.unn.ru/wp-content/uploads/2024/10/Сборник-тезисов-ФФХОИИ-2024.pdf#page=22
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678363

Internet