Численное моделирование диффузионных процессов в кремнии при импульсно-периодическом воздействии пучка ионов титана высокой плотности мощности
| Parent link: | Физические и физико-химические основы ионной имплантации.— 2024.— С. 22 |
|---|---|
| Altres autors: | , , , |
| Sumari: | Заглавие с экрана Текстовый файл |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2024
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | https://implantation.unn.ru/wp-content/uploads/2024/10/Сборник-тезисов-ФФХОИИ-2024.pdf#page=22 |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=678363 |
| Sumari: | Заглавие с экрана Текстовый файл |
|---|