Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления

Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:	Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 333-335
Main Author:	Савельев А. И.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Other Authors:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (727)
Summary:	Заглавие с экрана This research is aimed at determining the optimal operating modes of the magnetron source, under which the formation of Nb-Sn thin films of the required composition occurs. The deposition was carried out by the method of layer-by-layer deposition of Nb and Sn and using a stoichiometric target. The coatings were annealed in vacuum at a temperature of 800 °C for 12 hours Текстовый файл
Published:	2023
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс тонкие пленки Nb3Sn радиочастотные резонаторы токсичные вещества композитная мишень стехиометрический состав вакуумный отжиг послойное осаждение
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80827
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=673536

Similar Items

Материаловедение сверхпроводников на основе соединений А-15 учебное пособие
by: Дергунова Е. А.
Published: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2019)

Deposition of Superconducting Nb3Sn Coatings Using Multiple Magnetron Sputtering Techniques
Published: (2023)

Основы материаловедения сверхпроводников на основе соединений А-15 учебное пособие
by: Дергунова Е. А.
Published: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2009)

Влияние пассивации на фотоэлектрические свойства плёнок арсенида галия, осаждённых импульсной ионной абляцией
Published: (2011)

Автоматизация процесса вакуумного отжига титановых конструкций
by: Соколов Ю. А.
Published: (2003)

Ионный абляционный синтез пленок арсенида галлия на кремниевой подложке
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2012)

Микроструктура ультрамелкозернистого сплава Ti-40мас.%Nb после отжигов
Published: (2018)

Влияние высокотемпературного отжига и обработка в кислородной плазме на свойства тонких пленок оксида галлия
by: Вишникина В. В.
Published: (2012)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Structure and Phase Composition of Ultrafine-Grained TiNb Alloy after High-Temperature Annealings
Published: (2017)

Реакции нуклеофильного замещения и элиминирования учебное пособие для студентов высшей школы
by: Алексеев Р. С.
Published: (Москва, Лаборатория знаний, 2024)

Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок
by: Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Published: (2019)

Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок
by: Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Published: (2019)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Электроперенос пленок арсенида галлия, синтезированных на поликоре ионной абляцией
Published: (2013)

Характеристики радионуклидов для градуировки гамма-спектрометров учебное пособие для вузов
by: Трошин В. С.
Published: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2011)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления
by: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (2016)

Effect of nonequilibrium hydrogen release in the ultrafine-grained Zr-1Nb alloy under the electron beam exposure
Published: (2016)

Investigation of ceramics based on Cu-Sn powder, obtained by plasma dynamic method
Published: (2016)

Blister formation in ZrN/SiN multilayers after He irradiation
Published: (2018)

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках
by: Лязгин А. О.
Published: (2009)

Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига
by: Лязгин А. О.
Published: (2010)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Сунь Чжилэй
Published: (Томск, 2020)

Ускорительный источник нейтронов VITA
by: Таскаев С. Ю.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2024)

Лабораторный практикум "Материаловедение сверхпроводников учебное пособие для вузов
by: Дергунова Е. А.
Published: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2012)

Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2013)

Promising SnOx electron transport layer for polymer solar cells
Published: (2023)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Сунь Чжилэй
Published: (Томск, 2020)

Электроперенос пленок арсенида галлия, синтезированных ионной абляцией
Published: (2014)

Синтез и характеризация тонких пленок высокоэнтропийной системы HfZrCeYMgO, полученной методом магнетронного распыления
by: Булах В. А. Влада Александровна
Published: (2023)

Микроструктурирование тонких пленок
Published: (Москва, Наука, 1991)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления
by: Загузин И. Ю.
Published: (2018)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок
by: Шаронова А. А. Анна Александровна
Published: (2013)

Исследование наногетероструктур WS2-SnO2 фотоэлектрохимического назначения, полученных методом электроискровой эрозии
Published: (2024)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon
by: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Published: (2012)

The Influence of Ultrafine-Grained State of Zr - 1 wt.% Nb and Ti - 45 wt.% Nb Alloys on their Thermophysical Properties and Energy Dissipation and Accumulation during Deformation
Published: (2021)

Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
Published: (Томск, 2010)

Исследование системы BaO-Fe2O3 вблизи состава BaFe12O19
by: Винник Д. А.
Published: (2017)

Mathematical modeling of vacuum gas oil hydrotreatment process
by: Arkenova S. B. Sania Bolatovna
Published: (2022)

Мезомеханика поведения тонких пленок Cu на подложке при одноосном растяжении и термическом отжиге. Многоуровневый подход
Published: (2005)