Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления

Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023
Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 333-335
Main Author: Савельев А. И.
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Other Authors: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (727)
Summary:Заглавие с экрана
This research is aimed at determining the optimal operating modes of the magnetron source, under which the formation of Nb-Sn thin films of the required composition occurs. The deposition was carried out by the method of layer-by-layer deposition of Nb and Sn and using a stoichiometric target. The coatings were annealed in vacuum at a temperature of 800 °C for 12 hours
Текстовый файл
Published: 2023
Subjects:
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
тонкие пленки
Nb3Sn
радиочастотные резонаторы
токсичные вещества
композитная мишень
стехиометрический состав
вакуумный отжиг
послойное осаждение
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80827
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=673536

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80827

Similar Items