Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 333-335 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с экрана This research is aimed at determining the optimal operating modes of the magnetron source, under which the formation of Nb-Sn thin films of the required composition occurs. The deposition was carried out by the method of layer-by-layer deposition of Nb and Sn and using a stoichiometric target. The coatings were annealed in vacuum at a temperature of 800 °C for 12 hours Текстовый файл |
| Language: | Russian |
| Published: |
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80827 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=673536 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 673536 | ||
| 005 | 20241101144830.0 | ||
| 090 | |a 673536 | ||
| 100 | |a 20240704d2023 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 200 | 1 | |a Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления |f А. И. Савельев |g науч. рук. Ю. Н. Юрьев ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ |d Deposition of Nb3Sn thin films by magnetron sputtering |z eng | |
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a Библиография: с. 335 | ||
| 330 | |a This research is aimed at determining the optimal operating modes of the magnetron source, under which the formation of Nb-Sn thin films of the required composition occurs. The deposition was carried out by the method of layer-by-layer deposition of Nb and Sn and using a stoichiometric target. The coatings were annealed in vacuum at a temperature of 800 °C for 12 hours | ||
| 336 | |a Текстовый файл | ||
| 461 | 1 | |0 636133 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. |d 2023 |9 636133 |a Курзина, И. А. (химик ; 1972-) |c Томск |n Изд-во ТПУ | |
| 463 | 1 | |0 669915 |t Т. 1 : Физика |v С. 333-335 |d 2023 |9 669915 |p 1 файл (75,9 MB, 442 с.) |u conference_tpu-2023-C21_V1.pdf |l Volume 1. Physics | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a тонкие пленки | |
| 610 | 1 | |a Nb3Sn | |
| 610 | 1 | |a радиочастотные резонаторы | |
| 610 | 1 | |a токсичные вещества | |
| 610 | 1 | |a композитная мишень | |
| 610 | 1 | |a стехиометрический состав | |
| 610 | 1 | |a вакуумный отжиг | |
| 610 | 1 | |a послойное осаждение | |
| 700 | 1 | |a Савельев |b А. И. | |
| 702 | 1 | |a Юрьев |b Ю. Н. |c специалист в области водородной энергетики |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник |f 1984- |g Юрий Николаевич |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Отделение экспериментальной физики |9 28346 |
| 801 | 0 | |a RU |b 63413507 |c 20240704 |g RCR | |
| 856 | 4 | |z http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80827 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80827 | |
| 942 | |c CF | ||