Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона
| Parent link: | Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 168-170 |
|---|---|
| প্রধান লেখক: | |
| সংস্থা লেখক: | |
| অন্যান্য লেখক: | |
| সংক্ষিপ্ত: | Заглавие с экрана Magnetron sputtering systems are commonly used to change the functional properties of materials by applying thin-film coatings. In this work, we have simulated the magnetic field of the magnetic subsystem of a planar magnetron magnetron sputtering system in a 17 mm above target in increments of 1 cm by z-component using the Wolfram Mathematica 13.1 and Elcut. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed. The simulation results, over a range of considered distances, are in good agreement with an experimental study. The developed module can be used for designing a magnetron system based on the created model Текстовый файл |
| ভাষা: | রুশ |
| প্রকাশিত: |
2023
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80798 |
| বিন্যাস: | বৈদ্যুতিক গ্রন্থের অধ্যায় |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=672725 |
অনুরূপ উপাদানগুলি
Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей
অনুযায়ী: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
প্রকাশিত: (2008)
অনুযায়ী: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
প্রকাশিত: (2008)
Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом
অনুযায়ী: Николаев М. В.
প্রকাশিত: (2015)
অনুযায়ী: Николаев М. В.
প্রকাশিত: (2015)
Магнетронный диод на парах металлов
অনুযায়ী: Жуков В. В.
প্রকাশিত: (2002)
অনুযায়ী: Жуков В. В.
প্রকাশিত: (2002)
Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
প্রকাশিত: (Томск, 2018)
অনুযায়ী: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
প্রকাশিত: (Томск, 2018)
Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления
প্রকাশিত: (2008)
প্রকাশিত: (2008)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
প্রকাশিত: (Томск, 2016)
অনুযায়ী: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
প্রকাশিত: (Томск, 2016)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
প্রকাশিত: (Томск, 2016)
অনুযায়ী: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
প্রকাশিত: (Томск, 2016)
Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2018)
অনুযায়ী: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2018)
Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2018)
অনুযায়ী: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2018)
Оптимизация магнитного поля дуального магнетрона
অনুযায়ী: Шелепова М. А.
প্রকাশিত: (2009)
অনুযায়ী: Шелепова М. А.
প্রকাশিত: (2009)
Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
প্রকাশিত: (2018)
প্রকাশিত: (2018)
Оптимизация конструкции магнетрона протяжённой конфигурации
অনুযায়ী: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
প্রকাশিত: (2009)
অনুযায়ী: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
প্রকাশিত: (2009)
Изучения свойств оксидных плёнок, полученных с помощью дуального магнетрона
অনুযায়ী: Бумагина А. И. Анна Ивановна
প্রকাশিত: (2009)
অনুযায়ী: Бумагина А. И. Анна Ивановна
প্রকাশিত: (2009)
Травление углеродных покрытий в плазме водорода
প্রকাশিত: (2021)
প্রকাশিত: (2021)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, 2017)
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, 2017)
Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2020)
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2020)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2016)
অনুযায়ী: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2016)
Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана
অনুযায়ী: Бутько Я. А. Яна Александровна
প্রকাশিত: (2013)
অনুযায়ী: Бутько Я. А. Яна Александровна
প্রকাশিত: (2013)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2016)
অনুযায়ী: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2016)
Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов
অনুযায়ী: Жукова М. А.
প্রকাশিত: (2007)
অনুযায়ী: Жукова М. А.
প্রকাশিত: (2007)
Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления
অনুযায়ী: Шпакова Н. Ю.
প্রকাশিত: (2011)
অনুযায়ী: Шпакова Н. Ю.
প্রকাশিত: (2011)
Электропроводящие антифрикционные покрытия на основе системы CU-MO-S
প্রকাশিত: (2016)
প্রকাশিত: (2016)
Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления
অনুযায়ী: Мазурик Е. А.
প্রকাশিত: (2014)
অনুযায়ী: Мазурик Е. А.
প্রকাশিত: (2014)
Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями
প্রকাশিত: (2020)
প্রকাশিত: (2020)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
অনুযায়ী: Рогожников Д. С.
প্রকাশিত: (2016)
অনুযায়ী: Рогожников Д. С.
প্রকাশিত: (2016)
Низкоэмиссионные и терморегулирующие покрытия на основе тонких слоев серебра
প্রকাশিত: (2012)
প্রকাশিত: (2012)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2017)
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2017)
Плазменная технология осаждения отражающего покрытия на поверхность углепластика
প্রকাশিত: (2011)
প্রকাশিত: (2011)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2017)
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2017)
Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
অনুযায়ী: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
প্রকাশিত: (2021)
অনুযায়ী: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
প্রকাশিত: (2021)
Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем
অনুযায়ী: Арсланов И. Р.
প্রকাশিত: (2002)
অনুযায়ী: Арсланов И. Р.
প্রকাশিত: (2002)
Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав
অনুযায়ী: Иванова Н. М.
প্রকাশিত: (2014)
অনুযায়ী: Иванова Н. М.
প্রকাশিত: (2014)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, 2017)
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, 2017)
Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления
অনুযায়ী: Цяо Цзинвэнь
প্রকাশিত: (2017)
অনুযায়ী: Цяо Цзинвэнь
প্রকাশিত: (2017)
Изучение скорости растворения покрытий TiON в модельных биологических жидкостях
অনুযায়ী: Ефимова Е. В.
প্রকাশিত: (2017)
অনুযায়ী: Ефимова Е. В.
প্রকাশিত: (2017)
Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
প্রকাশিত: (2019)
প্রকাশিত: (2019)
Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС
অনুযায়ী: Киселева Д. В.
প্রকাশিত: (2015)
অনুযায়ী: Киселева Д. В.
প্রকাশিত: (2015)
Исследование биосовместимых покрытий на основе оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного напыления
অনুযায়ী: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
প্রকাশিত: (2014)
অনুযায়ী: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
প্রকাশিত: (2014)
Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target
প্রকাশিত: (2016)
প্রকাশিত: (2016)
Несбалансированная магнетронная распылительная система с электромагнитной катушкой
অনুযায়ী: Шпакова Н. Ю.
প্রকাশিত: (2009)
অনুযায়ী: Шпакова Н. Ю.
প্রকাশিত: (2009)