Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 168-170 |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Ente Autore: | |
| Altri autori: | |
| Riassunto: | Заглавие с экрана Magnetron sputtering systems are commonly used to change the functional properties of materials by applying thin-film coatings. In this work, we have simulated the magnetic field of the magnetic subsystem of a planar magnetron magnetron sputtering system in a 17 mm above target in increments of 1 cm by z-component using the Wolfram Mathematica 13.1 and Elcut. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed. The simulation results, over a range of considered distances, are in good agreement with an experimental study. The developed module can be used for designing a magnetron system based on the created model Текстовый файл |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2023
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80798 |
| Natura: | MixedMaterials Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=672725 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 672725 | ||
| 005 | 20241122111735.0 | ||
| 090 | |a 672725 | ||
| 100 | |a 20240526d2023 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 200 | 1 | |a Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона |f Д. Д. Зайцев |g науч. рук. К. Е. Евдокимов ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ |d Simulation of the magnetic subsystem of a planar magnetron |z eng | |
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a Библиография: с. 170 | ||
| 330 | |a Magnetron sputtering systems are commonly used to change the functional properties of materials by applying thin-film coatings. In this work, we have simulated the magnetic field of the magnetic subsystem of a planar magnetron magnetron sputtering system in a 17 mm above target in increments of 1 cm by z-component using the Wolfram Mathematica 13.1 and Elcut. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed. The simulation results, over a range of considered distances, are in good agreement with an experimental study. The developed module can be used for designing a magnetron system based on the created model | ||
| 336 | |a Текстовый файл | ||
| 461 | 1 | |0 636133 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. |d 2023 |9 636133 |a Курзина, И. А. (химик ; 1972-) |c Томск |n Изд-во ТПУ | |
| 463 | 1 | |0 669915 |t Т. 1 : Физика |v С. 168-170 |d 2023 |9 669915 |p 1 файл (75,9 MB, 442 с.) |u conference_tpu-2023-C21_V1.pdf |l Volume 1. Physics | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a магнетронные распылительные системы | |
| 610 | 1 | |a МРС | |
| 610 | 1 | |a тонкопленочные покрытия | |
| 610 | 1 | |a плазма | |
| 610 | 1 | |a математическая модель | |
| 610 | 1 | |a магнитное поле | |
| 610 | 1 | |a планарный магнетрон | |
| 700 | 1 | |a Зайцев |g Даниил Дмитриевич |b Д. Д. |f 2001- |c специалист в области ядерных технологий |c инженер Томского политехнического университета |y Томск |7 ca |8 rus |9 88688 | |
| 702 | 1 | |a Евдокимов |b К. Е. |c физик |c старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1976- |g Кирилл Евгеньевич |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Отделение экспериментальной физики |9 28346 |
| 801 | 0 | |a RU |b 63413507 |c 20240526 |g RCR | |
| 856 | 4 | |z http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80798 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80798 | |
| 942 | |c CF | ||