Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N

Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N

Bibliographic Details
Parent link:	Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 132-134
Main Author:	Гаранин Ю. А.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Other Authors:	Кузьминов Е. Д. (727), Шугуров А. Р. Артур Рубинович
Summary:	Заглавие с экрана The elemental composition and mechanical properties of Ti-Al-Ta-N coatings obtained by bipolar pulsed magnetron sputtering are investigated. It is shown that the coatings deposited at a pulse frequency of 50 kHz and a duty cycle of 50% make it possible to obtain an optimal composition that provides the maximum hardness of coatings Текстовый файл
Published:	2023
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс материаловедениe фрикционные нагрузки защитные покрытия износостойкость магнетронное распыление
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80792
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=672519

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80792