Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Bibliografiske detaljer
Parent link:Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023
Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 114-116
Hovedforfatter: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Institution som forfatter: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Andre forfattere: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович (научный руководитель)
Summary:Заглавие с экрана
This study aims to identify the possibility of deposition of yttrium oxide coatings using reactive magnetron sputtering in the metallic mode. There is found that sputtering yttrium target in the metallic mode can be done using dual magnetron sputtering of yttrium and copper targets
Текстовый файл
Sprog:russisk
Udgivet: 2023
Fag:
Online adgang:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80786
Format: Electronisk Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=672304

Lignende værker