Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 114-116 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Körperschaft: | |
| Weitere Verfasser: | |
| Zusammenfassung: | Заглавие с экрана This study aims to identify the possibility of deposition of yttrium oxide coatings using reactive magnetron sputtering in the metallic mode. There is found that sputtering yttrium target in the metallic mode can be done using dual magnetron sputtering of yttrium and copper targets Текстовый файл |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
2023
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80786 |
| Format: | Elektronisch Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=672304 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 672304 | ||
| 005 | 20241031143452.0 | ||
| 090 | |a 672304 | ||
| 100 | |a 20240416d2023 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 200 | 1 | |a Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы |f Е. Д. Воронина |g науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ |d Searching for the parameters of yttrium oxide film deposition in a metallic mode of magnetron sputtering system operation |z eng | |
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a Библиография: с. 116 | ||
| 330 | |a This study aims to identify the possibility of deposition of yttrium oxide coatings using reactive magnetron sputtering in the metallic mode. There is found that sputtering yttrium target in the metallic mode can be done using dual magnetron sputtering of yttrium and copper targets | ||
| 336 | |a Текстовый файл | ||
| 461 | 1 | |0 636133 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. |d 2023 |9 636133 |a Курзина, И. А. (химик ; 1972-) |c Томск |n Изд-во ТПУ | |
| 463 | 1 | |0 669915 |t Т. 1 : Физика |v С. 114-116 |d 2023 |9 669915 |p 1 файл (75,9 MB, 442 с.) |u conference_tpu-2023-C21_V1.pdf |l Volume 1. Physics | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a оксид иттрия | |
| 610 | 1 | |a оптические характеристики | |
| 610 | 1 | |a теплозащитные покрытия | |
| 610 | 1 | |a оптические волноводы | |
| 610 | 1 | |a ионы плазмы | |
| 610 | 1 | |a аргон | |
| 610 | 1 | |a кислород | |
| 700 | 1 | |a Воронина |b Е. Д. |c специалист в области ядерных технологий |c инженер Томского политехнического университета |f 2000- |g Екатерина Дмитриевна |9 22933 | |
| 702 | 1 | |a Сиделёв |b Д. В. |c физик |c инженер кафедры Томского политехнического университета |f 1991- |g Дмитрий Владимирович |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Отделение экспериментальной физики |9 28346 |
| 801 | 0 | |a RU |b 63413507 |c 20240416 |g RCR | |
| 856 | 4 | |z http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80786 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80786 | |
| 942 | |c CF | ||