Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна & Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович. (2023). Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы. 2023.
Chicago Style (17th ed.) CitationВоронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна and Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович. Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы. 2023, 2023.
ציטוט MLAВоронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна and Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович. Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы. 2023, 2023.
אזהרה: ציטוטים אלה לעיתים לא מדויקים ב 100%.