Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме
| Parent link: | Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 111-113 |
|---|---|
| المؤلف الرئيسي: | |
| مؤلف مشترك: | |
| مؤلفون آخرون: | |
| الملخص: | Заглавие с экрана CuOx coatings were obtained by magnetron deposition using a metallic mode by changing an oxygen flow rate, target power density and rotation rate of planetary substrate-holder. It is shown the possibility of controlling the elemental and phase compositions of the CuOx coatings by changing operation parameters Текстовый файл |
| منشور في: |
2023
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785 |
| التنسيق: | الكتروني فصل الكتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=672302 |
مواد مشابهة
Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы
حسب: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
منشور في: (2023)
حسب: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
منشور في: (2023)
Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием
حسب: Осипова Е. С.
منشور في: (2023)
حسب: Осипова Е. С.
منشور في: (2023)
Изучение выпрямляющих свойств электронно-дырочного перехода учебно-методическое пособие
حسب: Владимирова Л. Н.
منشور في: (Воронеж, ВГУ, 2019)
حسب: Владимирова Л. Н.
منشور في: (Воронеж, ВГУ, 2019)
Фотокаталитическая активность гетероструктур на основе оксида цинка
حسب: Юхновец О. И.
منشور في: (2018)
حسب: Юхновец О. И.
منشور في: (2018)
Газы, газовые смеси, криогенные жидкости номенклатурный каталог
منشور في: (Черкассы, НИИТЭХИМ, 1984)
منشور في: (Черкассы, НИИТЭХИМ, 1984)
Высокотемпературное поглощение примесей кислорода в аргоне диоксидом титана, активированным в щелочной и кислой средах
حسب: Смирнова В. В. Валентина Владимировна
منشور في: (2015)
حسب: Смирнова В. В. Валентина Владимировна
منشور في: (2015)
Полупроводниковые элементы электронных устройств
حسب: Орлов Г. А.
منشور في: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009)
حسب: Орлов Г. А.
منشور في: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009)
Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме
حسب: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
منشور في: (2022)
حسب: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
منشور في: (2022)
Коррозионностойкие и жаростойкие материалы : химическое газофазное осаждение защитных покрытий курс лекций
حسب: Душик В. В.
منشور في: (Москва, МИСИС, 2013)
حسب: Душик В. В.
منشور في: (Москва, МИСИС, 2013)
Метод определения температуры p-n перехода светоизлучающих диодов по спаду интенсивности излучения
حسب: Гущин В. А.
منشور في: (2012)
حسب: Гущин В. А.
منشور في: (2012)
Пространства типа Соболева-Винера и асимптотические свойства их функций
حسب: Янов С. И.
منشور في: (Барнаул, АлтГПУ, 2007)
حسب: Янов С. И.
منشور في: (Барнаул, АлтГПУ, 2007)
Лавинный пробой p-n - перехода в полупроводниках
حسب: Грехов И. В. Игорь Всеволодович
منشور في: (Ленинград, Энергия, 1980)
حسب: Грехов И. В. Игорь Всеволодович
منشور في: (Ленинград, Энергия, 1980)
Физические основы электроники. Контакты металл–полупроводник учебно-методическое пособие
حسب: Дорогой С. В.
منشور في: (Новосибирск, НГТУ, 2019)
حسب: Дорогой С. В.
منشور في: (Новосибирск, НГТУ, 2019)
Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения
منشور في: (2019)
منشور في: (2019)
Туннельная излучательная рекомбинация в p-n- гетероструктурах на основе нитрида галлия и других соединнений типа [AIIIBV]
حسب: Кудряшов В. Е.
منشور في: (2003)
حسب: Кудряшов В. Е.
منشور في: (2003)
Разработка составов стёкол для защиты p-n перехода
حسب: Комаров Д. В.
منشور في: (2024)
حسب: Комаров Д. В.
منشور في: (2024)
Исследование оптических свойств нанопорошков высокодефектного диоксида титана
حسب: Палатова А. В.
منشور في: (2018)
حسب: Палатова А. В.
منشور في: (2018)
Полупроводниковые приборы и их применение учебное пособие
حسب: Астапенко Э. С.
منشور في: (Томск, ТГАСУ, 2021)
حسب: Астапенко Э. С.
منشور في: (Томск, ТГАСУ, 2021)
Физика полупроводниковых приборов
حسب: Гришаев В. Я.
منشور في: (Саранск, МГУ им. Н.П. Огарева, 2020)
حسب: Гришаев В. Я.
منشور في: (Саранск, МГУ им. Н.П. Огарева, 2020)
Электроника учебно-методическое пособие
حسب: Салахова А. Ш.
منشور في: (Казань, КНИТУ-КАИ, 2020)
حسب: Салахова А. Ш.
منشور في: (Казань, КНИТУ-КАИ, 2020)
Основы химии элементов
حسب: Ларичев Т. А.
منشور في: (Кемерово, КемГУ, 2012)
حسب: Ларичев Т. А.
منشور في: (Кемерово, КемГУ, 2012)
Биполярный магнитотранзистор с базой в кармане
حسب: Козлов А. В.
منشور في: (2004)
حسب: Козлов А. В.
منشور في: (2004)
Общая физика полупроводников учебное пособие для вузов
حسب: Мейлихов Е. З. Евгений Залманович
منشور في: (Москва, МФТИ, 2006)
حسب: Мейлихов Е. З. Евгений Залманович
منشور في: (Москва, МФТИ, 2006)
Частотная модуляция с помощью емкостей p-n переходов
حسب: Чудаков И. М. Игорь Михайлович
منشور في: (Москва, Связь, 1968)
حسب: Чудаков И. М. Игорь Михайлович
منشور في: (Москва, Связь, 1968)
Изучение влияния условий приготовления фотоэлектродов Cd[0,3]Zn[0,7]S/FTO на их фотокаталитическую активность и фотогальванические характеристики
حسب: Марковская Д. В.
منشور في: (2018)
حسب: Марковская Д. В.
منشور في: (2018)
Получение наноструктур серебра фотохимическим методом
منشور في: (2005)
منشور في: (2005)
Фото-инициируемая реакция Миниши без использования фотокатализаторов
حسب: Власенко Ю. А. Юлия Александровна
منشور في: (2020)
حسب: Власенко Ю. А. Юлия Александровна
منشور في: (2020)
Функционализированные органические амнофосфорильные соединения
حسب: Газизов М. Б.
منشور في: (Казань, КНИТУ, 2011)
حسب: Газизов М. Б.
منشور في: (Казань, КНИТУ, 2011)
Термодинамика наноразмерных систем
حسب: Тарасевич Ю. Г.
منشور في: (Гродно, ГрГУ им. Янки Купалы, 2022)
حسب: Тарасевич Ю. Г.
منشور في: (Гродно, ГрГУ им. Янки Купалы, 2022)
Теплопроводность газов и жидкостей. Справочные данные
منشور في: (Москва, Изд-во стандартов, 1970)
منشور في: (Москва, Изд-во стандартов, 1970)
Влияние температуры и времени на угол смачивания стеклом монокристалла кремния
حسب: Комаров Д. В.
منشور في: (2024)
حسب: Комаров Д. В.
منشور في: (2024)
Элементы оптоэлектроники учебное пособие
حسب: Богатиков Е. В.
منشور في: (Воронеж, ВГУ, 2010)
حسب: Богатиков Е. В.
منشور في: (Воронеж, ВГУ, 2010)
Кислотно-основные свойства поверхности железосодержащих металлокерамических композитов
حسب: Шерстобоева М. В.
منشور في: (2017)
حسب: Шерстобоева М. В.
منشور في: (2017)
Технология и оборудование производства силовых полупроводниковых приборов учебник для техникумов
حسب: Булкин А. Д. Анатолий Дмитриевич
منشور في: (Москва, Энергоатомиздат, 1984)
حسب: Булкин А. Д. Анатолий Дмитриевич
منشور في: (Москва, Энергоатомиздат, 1984)
Т. 1
منشور في: (1934)
منشور في: (1934)
Effect of N2 to total pressure ratio on the structure, mechanical and tribological properties of magnetron-sputtered Ti-Al-Ta-Si-N coatings
منشور في: (2024)
منشور في: (2024)
Химия элементов. Курс лекций. Ч. I учебное пособие
حسب: Карнаухова Т. М.
منشور في: (Тюмень, ТИУ, 2010)
حسب: Карнаухова Т. М.
منشور في: (Тюмень, ТИУ, 2010)
Основы теории полупроводниковых приборов
حسب: Пикус Г. Е. Григорий Езекиелевич
منشور في: (Москва, Наука, 1965)
حسب: Пикус Г. Е. Григорий Езекиелевич
منشور في: (Москва, Наука, 1965)
Распределение потенциала, поля и концентраций носителей тока в области сильного поля вплавленных p-n-переходов и pin-структур Ч. 1
حسب: Рябинкин Ю. С.
منشور في: (1960)
حسب: Рябинкин Ю. С.
منشور في: (1960)
Распределение потенциала, поля и концентраций носителей тока в области сильного поля вплавленных p-n-переходов и pin-структур Ч. 2
حسب: Рябинкин Ю. С.
منشور في: (1960)
حسب: Рябинкин Ю. С.
منشور في: (1960)