Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме

Влияние параметров магнетроного осаждения на стехиометрию покрытий оксида меди, полученных в металлическом режиме

Bibliographic Details
Parent link:	Курзина, И. А. (химик ; 1972-). Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г..— .— Томск: Изд-во ТПУ, 2023 Т. 1 : Физика.— 2023.— С. 111-113
Main Author:	Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Other Authors:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович (727)
Summary:	Заглавие с экрана CuOx coatings were obtained by magnetron deposition using a metallic mode by changing an oxygen flow rate, target power density and rotation rate of planetary substrate-holder. It is shown the possibility of controlling the elemental and phase compositions of the CuOx coatings by changing operation parameters Текстовый файл
Published:	2023
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс полупроводники p-n диоды фотокатализаторы стехиометрия скорость осаждения покрытий аргон кислород
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=672302

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80785